마스크 정렬기
진공 플라즈마 세정기
유도 결합 플라즈마(ICP) RIE(반응성 이온 에칭) 시스템, IBE(이온 빔 에칭)
마스크 정렬기 리소그래피 기계
유도 결합 플라즈마(ICP) 반응성 이온 에칭(RIE) 시스템
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