Induktiivselt ühendatud plasma (ICP) RIE – reaktiivne ioonilagunemine, IBE – ioonikiirguslagunemine
Induktiivselt ühendatud plasma (ICP) RIE reageeriv ioonilõike süsteem
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Kõik õigused kaitstud