본 시험 절차의 목적은 진공 플라즈마 세정기(SPV-50)의 성능을 검증하고, 측정 결과를 명목상 사양 값과 비교하는 것이다. 본 절차는 일반적으로 출하 전 공장에서 및 설치 후 고객 현장에서 수행된다. 본 문서에 기술된 시험 및 측정을 통해 기계의 기능이 완전히 검증되므로 추가 시험은 필요하지 않다.
마스크 정렬기 - 말레이시아에서의 수용 문제 및 조치
SHL 300CS ICP(유도 결합 플라즈마) FAT/SAT 승인 프로그램
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