Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine
Induktiv gekoppeltes Plasma (ICP), RIE-System (Reactive Ion Etching, reaktives Ionenätzen), IBE (Ion Beam Etching, Ionenstrahlätzen)
Induktiv gekoppeltes Plasma (ICP) RIE-Anlage für reaktives Ionenätzen
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