Plasma terkopel induktif (ICP), sistem pengukiran ion reaktif (RIE), dan pengukiran berkas ion (IBE)
Sistem etsa ion reaktif ICP RIE (Plasma Terkopel Induktif)
Hak Cipta © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Hak Cipta Dilindungi Undang-Undang