Решење за детекцију елипсометра у индустрији интегралних кола ИЦ

Time : 2025-05-15

Дизајн ИЦ-а, познат и као дизајн интегрисаних кола, има високу прецизност у нанотехнологији процеса, а што је прецизност већа, напреднији је производни процес. Када се више транзистора интегрише у процесор, чип може постићи више функција, што директно смањује производњу трошкова процесора. Али док се процесни чворови у интегрисаним колама смањују, мерење критичних димензија такође се суочава са огромним изазовима. Извонредно је важно измерити и анализирати геометријске морфолошке информације као што су период наноструктуре, ширина линије, висина линије, угао бочних зидова и грубост.

Решење:

Користећи Мюлер матрицу за елипсометрију, добијено је 16 сетова информација о поларизацији, а добијени су прецизнији елипсометријски параметри (ПСИ: однос амплитуде, △: разлика фазе). За примену су коришћени стотине уграђених оптичких модела, а затим су мерени и анализирани геометријски морфолошки подаци као што су период наноструктуре, ширина линије, висина линије, угао бочног зида и грубост.

椭偏仪 (1).jpeg