모델: MDVES200
응용 분야:
IGBT 모듈, TR 구성요소, MCM, 하이브리드 회로 패키지, 이산 장치 패키지, 센서/MEMS 패키지 (수냉식), 고전력 장치 패키지, 광전자 장치 패키지, 밀폐형 패키지 (수냉식), 유틸렉시 범프 용접 등.
진공 공정 리플로우 용광로는 진공 가열 원리를 이용하여 전자 부품의 합금 납땜에 적합한 공정 환경을 제공하는 장치입니다.


소개:
MDVES200 진공 소성로의 설계 기반은 진공 및 수냉 제어로, 공극률을 보장할 뿐만 아니라 냉각 속도를 높일 수도 있습니다.
MDVES200의 표준 가스는 질소, 질소-수소 혼합 가스 (95%/5%) 및 형산입니다. 고객은 자신의 실제 상황에 따라 적합한 가스를 공정 가스로 선택할 수 있으며 추가 구성에 대해 걱정할 필요가 없습니다. 장비의 PLC 제어 시스템은 진공 펌핑, 충기, 가열 제어 및 수냉 등의 작업을 잘 모니터링하여 고객의 공정 안정성을 보장합니다.
MUX200은 10L 용량의 진공 열처리로입니다. 제품의 비용 대비 성능이 비교적 높아 연구 및 생산 고객의 요구를 충족시킬 수 있습니다.
응용 분야:
IGBT 모듈, TR 구성요소, MCM, 하이브리드 회로 패키지, 이산 장치 패키지, 센서/MEMS 패키지 (수냉식), 고전력 장치 패키지, 광전자 장치 패키지, 밀폐형 패키지 (수냉식), 유틸렉시 범프 용접 등.
1. MDVES200은 소형 설계와 완벽한 기능을 갖춘 경제적인 제품으로, 고객의 연구 개발 및 초기 생산 사용을 지원합니다;
2. 폼산, 질소 및 질소-수소 가스의 표준 구성은 고객의 다양한 제품에 대한 가스 요구를 충족하며, 후속 공정 가스 파이프라인 추가 작업의 번거로움을 피할 수 있습니다;
3. 수냉각 제어 방식을 채택하면 냉각 속도를 높일 수 있어 생산 속도를 향상시키고 생산성을 극대화할 수 있습니다. 4. 고객이 튜브 쉘의 진공 밀봉과 관련된 경우, 수냉각 설계는 그 우위를 부각시켜 튜브 시트 및 튜브 쉘에서 발생하는 공기 냉각으로 인한 천공 문제를 피할 수 있습니다.
구조 크기 | |
기본 프레임 |
820*820*1000mm |
내부 용량 |
10L |
베이스 최대 높이 |
110mm |
관찰창 |
포함하다 |
무게 |
220kg |
진공 시스템 | |
진공 펌프 |
유분 필터 장치가 있는 진공펌프 |
진공도 |
최대 5Pa |
진공 구성 |
1. 진공 펌프 2. 전기 밸브 |
펌핑 속도 제어 |
진공 펌프의 펌핑 속도는 호스트 컴퓨터 소프트웨어를 통해 설정할 수 있다. |
공기 시스템 | |
공정 가스 |
N2, N2\/H2 (95%\/5%), HCOOH |
첫 번째 가스 경로 |
질소\/질소-수소 혼합물 (95%\/5%) |
두 번째 가스 경로 |
HCOOH |
난방 및 냉각 시스템 | |
가열 방식 |
복사 가열, 접촉 전도, 가열 속도 150℃\/min |
냉각 방법 |
접촉 냉각, 최대 냉각 속도는 120℃\/min |
히팅 플레이트 재질 |
구리 합금, 열전도율: ≥200W/m·℃ |
가열 크기 |
240*210mm |
난방 장치 |
가열 장치: 진공 가열관을 사용; 온도는 지멘스 PLC 모듈을 통해 측정되며, PID 제어는 호스트 컴퓨터(Advantech)를 통해 제어된다. |
온도 범위 |
최대 400℃ |
전원 요구 사항 |
380V, 50/60HZ 삼상, 최대 40A |
제어 시스템 |
시멘스 PLC + IPC |
장비 전력 | |
냉각수 |
방동액 또는 증류수 ≤20℃ |
압력: |
0.2~0.4Mpa |
냉각제 흐름량 |
>100L/분 |
수조 용량 |
≥60L |
입수 온도 |
≤20℃ |
공기 원 |
0.4MPa≤공기 압력≤0.7MPa |
전원 공급 장치 |
단상 3선 시스템 220V, 50Hz |
전압 변동 범위 |
단상 200~230V |
주파수 변동 범위 |
50HZ±1HZ |
장비 전력 소비 |
약 5kW; 접지 저항 ≤4Ω; |
표준 구성
호스트 시스템 |
진공 챔버, 메인 프레임, 제어 하드웨어 및 소프트웨어 포함 |
질소 파이프라인 |
질소 또는 질소/수소 혼합 가스를 공정 가스로 사용 가능 |
포름산 파이프라인 |
질소를 통해 공정 챔버에 formic acid를 공급 |
수냉 파이프라인 |
상부 덮개, 하부 캐비티, 히팅 플레이트 냉각 |
워터쿨러 |
장비에 지속적인 수냉 공급 제공 |
진공 펌프 |
오일 안개 필터가 있는 진공 펌프 시스템 |
운전 조건
온도 |
10~35℃ |
상대 습도 |
≤80% |
|
장비 주변 환경은 청결하고 정돈되어야 하며, 공기 또한 깨끗해야 합니다. 그리고 전기 기기 및 기타 금속 표면을 부식시키거나 금속 간 전도를 유발할 수 있는 먼지나 가스가 없어야 합니다. 금속 간 전도를 유발할 수 있는 먼지나 가스가 없어야 합니다. | |
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