







챔버 |
크기 |
소형 전실 |
주 전실 |
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지름 150mm, 길이 330mm |
지름 360mm, 길이 600mm (옵션 지름 390mm) |
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재질 |
304 스테인리스 스틸 |
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표면 |
와이어 드로잉 내면, 도장된 외면 |
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악세사리 |
쟁반 |
스테인리스 스틸 미러 가공, 슬라이딩 트레이 |
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챔버 도어 |
이중 문 |
이중 도어, 양극 산화 알루미늄, 부스터 구조 포함 |
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압력 게이지 |
Wika 진공 오일 게이지 또는 디지털 디스플레이 |
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제어 |
작동 |
PLC 제어 또는 수동 작동 |
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타입 사양 |
단면 단일 스테이션 |
단면 3개 장갑 |
단면 이중 스테이션 |
단면 이중 스테이션 |
양면 이중 스테이션 |
양면 4개 스테이션 |
양면 4개 스테이션 |
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길이*높이*너비(mm) |
1200x900X750 |
1500x900X750 |
1800x900X750 |
2400x900X750 |
1200x900X1000 |
1800x900X1000 |
2400x900X 1000 |
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챔버 재질 |
304 스테인리스 스틸 |
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재료 두께 |
3mm |
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랙 높이 |
950mm |
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주 전실 |
φ360XΦ600 또는 Φ390X600 mm |
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소형 전실 |
φ150 X 330 mm |
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장갑 |
2 개 |
3 개 세트 |
4개 |
4개 |
4개 |
4개 |
8개 |
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장갑 부분 재질 |
알루미나 산화물/POM |
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볼륨 |
0.8 ㎡ |
1.0 ㎡ |
1.2㎡ |
1.6㎡ |
1.1㎡ |
1.6㎡ |
2.2㎡ |
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누설률 |
0.001vol%/h |
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H2O 검출기 |
<0.1ppm |
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o2 검출기 |
<0.1ppm |
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