MD-2300 սայլավոր սիլիցիումի պլազմային ֆոտոռեզիստի հեռացման սարքը ավարտել է տեղադրումն ու շահագործման մեջ մտցնելը Եվրոպայում։

Ընթացքի գլուխը:

Մինդեր-Հայթեքի MD-2300 սերիական տիպի վաֆելի պլազմային ֆոտոռեզիստի մաքրիչ սարքը հաջողությամբ տեղադրվել է, շահագործման է հանձնվել և փոխանցվել է Եվրոպայի հաճախորդի արտադրամասում՝ ներառյալ շահագործման վերապատրաստումը: Այս սարքավորումը հիմնականում նախատեսված է վաֆելների մակերեսից ֆոտոռեզիստի հեռացման և դեսքամինգի գործընթացների համար և տրամադրում է հաճախորդին կառավարելի RF պլազմային մշակման հնարավորություններ կիսահաղորդչային և միկրոէլեկտրոնիկայի արտադրության համար:

Նախագծի շրջանակը ներառում էր պլազմային աշինգի սարքավորումների մատակարարումը, ինչպես նաև տեղում տեղադրումը, ստուգումը, ֆունկցիոնալ ստուգումը, օպերատորների վերապատրաստումը և հիմնարար գործընթացների սկզբունքների ներմուծումը: Այս տեղում մատուցվող ծառայությունների շնորհիվ հաճախորդի օպերատորները ծանոթացել են սարքավորումների կառուցվածքին, շահագործման աշխատանքային հոսքին, ռեցեպտների կարգավորմանը և սովորական սպասարկման պահանջներին, ինչը հիմք է ստեղծել հետագա գործընթացի վալիդացման և սերիական արտադրության համար:

Հաճախորդի պահանջները.

Հաճախորդը պահանջում է լուծում ֆոտոռեզիստի և գործընթացի մնացորդների մշակման համար վեյֆերի մակերեսին: Կախված կոնկրետ արտադրական փուլից՝ վեյֆերի մակերեսը կարող է պարունակել ֆոտոռեզիստի լիարժեք շերտ կամ միայն նախնական շերտի կամ օրգանական նյութերի բարակ մնացորդներ: Այդ պատճառով սարքավորումը պետք է աջակցի ինչպես ֆոտոռեզիստի մեծ ծավալների այրմանը/հեռացմանը, այնպես էլ մակերեսի ավելի բարակ մշակման գործընթացներին, օրինակ՝ դեսքամինգին: Ֆոտոռեզիստի ամբողջական հեռացման համար պլազմային համակարգը պետք է կարողանա հեռացնել նպատակային ռեզիստի շերտը համեմատաբար կարճ ժամանակահատվածում: Դեսքամինգի գործընթացների դեպքում կենտրոնանում են նախ և առաջ մոդելների հիմքում կամ տեղային տեղամասերում գտնվող բարակ մնացորդային շերտերի հեռացման վրա՝ միաժամանակ վերահսկելով վերամշակման չափազանցման ազդեցությունը վեյֆերի կառուցվածքների և հետագա արտադրական քայլերի վրա:

MD-2300 Պլազմային Ֆոտոռեզիստի Համակարգ. Ներածություն, Կոնֆիգուրացիա և Մշակման Սկզբունքներ ：

Համակարգը առաջարկում է հարմարեցվող RF հզորություն, գործընթացի գազի հոսքի արագություն, վակուումային ճնշում և մշակման ժամանակահատվածներ, որոնք հնարավորություն են տալիս ճկունորեն հարմարեցնել գործընթացները՝ բավարարելու տարբեր ֆոտոռեզիստի հեռացման պահանջները: Վերջնական ռեցեպտները պետք է օպտիմալացվեն հիմնված սպառողի կողմից օգտագործվող կոնկրետ ֆոտոռեզիստի տեսակի, ռեզիստի հաստության, նախորդ գործընթացների և ընդունման չափանիշների վրա:

Այս սալիկների պլազմային ֆոտոռեզիստի հեռացման համակարգը օգտագործում է 13.56 ՄՀց RF պլազմային տեխնոլոգիա՝ 0–1000 Վտ հարմարեցվող RF ելքային հզորության միջակայքով: Օքսիգենը հիմնական գործընթացի գազ է ֆոտոռեզիստի այրման և օրգանական աղտոտիչների հեռացման համար, իսկ արգոնը կարող է օգտագործվել որպես օժանդակ գազ՝ կախված գործընթացի պահանջներից:

Երբ խցիկը հասնում է նպատակային վակուումի մակարդակին, գործընթացի գազերը ներմուծվում են քվարցային ռեակցիոն խցիկ, որտեղ RF էներգիան ստեղծում է պլազմա: Օքսիջենային պլազմայի ռեակտիվ տեսակները փոխազդում են լուսազգայուն ռեզիստի օրգանական բաղադրիչների հետ՝ առաջացնելով թռչուն կողեւարդներ, որոնք վակուումային համակարգի միջոցով հեռացվում են, ինչը հնարավորություն է տալիս իրականացնել չոր լուսազգայուն ռեզիստի հեռացում և մակերևույթի մաքրում:

Համեմատած խոնավ հեռացման մեթոդների հետ՝ պլազմային լուսազգայուն ռեզիստի հեռացումը նվազեցնում է քիմիական նյութերի օգտագործումը և թույլ է տալիս ճշգրիտ վերահսկել հզորությունը, հոսքի արագությունը, ճնշումը և ժամանակը՝ ըստ ռեցեպտի կարգավորումների: Սակայն ցանկացած հեռացման գործընթաց պահանջում է վավերացում՝ հիմնված ներգրավված կոնկրետ նյութերի վրա, հատկապես երբ մշակվում է բարձր դոզայի իոնային իմպլանտացիայի ենթարկված լուսազգայուն ռեզիստ, հաստ ռեզիստի շերտեր կամ ջերմային զգայուն վաֆելի կառուցվածքներ:

Տեղում տեղադրում և շահագործման մեջ մտցնել:

Երբ սարքավորումները հասել են եվրոպական հաճախորդի տեղամաս, ինժեներական անձնակազմը սկզբում ստուգել է սարքավորման արտաքին տեսքը, կարևորագույն բաղադրիչները և տրանսպորտավորման հետևանքով առաջացած վիճակը, այնուհետև տեղադրել է սարքավորումը՝ համաձայն տեղադրման պահանջների: Հետո ստուգվել են մատակարարման հոսանքի, գործընթացային գազերի, սեղմված օդի, արտահոսքի և այլ օգտագործման օգտակար ծառայությունների միացումները:

MD-2300 պլազմային աշերի հղման հոսանքի մատակարարման պահանջը 380 Վ փոփոխական հոսանք է, 50/60 Հց, 40 Ա: Հաճախորդի տեղամասում նաև պետք է ապահովվեն գործընթացային սպեցիֆիկացիաներին համապատասխանող թթվածին, արգոն, ազոտ և սեղմված օդ: Գազի մաքրությունը, ճնշումը, միացման խողովակները և արտահոսքի պայմանները պետք է հաստատվեն՝ համեմատելով վերջնական սարքավորման կոնֆիգուրացիայի և օգտագործման օգտակար ծառայությունների սպեցիֆիկացիաների հետ:

Ընդհանուր միացումների ավարտից հետո ինժեներական թիմը համակարգային ստուգեց կառավարման համակարգը, վակուումային համակարգը, գործընթացային գազային միացումները, RF հզորության մատակարարումը, համապատասխանեցման համակարգը և անվտանգության պաշտպանության ֆունկցիաները: Երբ սարքավորման հիմնական շահագործման վիճակը հաստատվեց որպես նորմալ, կատարվեցին առանց բեռնվածության փորձարկումներ և ֆունկցիոնալ ստուգումներ:

Պլազմային աշերի մատակարարման հիմնական բաղադրիչներից մեկը տեղում վարժանքն էր: Վարժանքը ներառում էր սարքավորման միացումը և անջատումը, ավտոմատ շահագործումը, ձեռքով շահագործումը, ռեցեպտների խմբագրումը, սերիական մշակումը և անսովոր իրավիճակների կառավարումը:

Օպերատորները սովորեցին ստեղծել գործընթացային ռեցեպտներ հիմնված կոնկրետ արտադրանքների վրա և կարգավորել հիմնական պարամետրերը, այդ թվում.

- թթվածնի և արգոնի հոսքի արագությունները;

- RF ելքային հզորությունը;

- խցիկի շահագործման ճնշումը;

- մշակման ժամանակը;

- վակուումային և գազալցման փուլերը;

- գործընթացի ավարտից հետո արտահոսքի հաջորդականությունը:

Վարժությունները նաև շեշտադրեցին բաղադրատոմսերի կառավարման կարևորությունը: Պլաստինների լուսազգայուն նյութի հեռացման սարքավորումների համար մեկ պարամետրերի հավաքածուն կարող է չլինել հարմար բոլոր արտադրանքների համար: Լուսազգայուն նյութի տեսակը, հաստությունը, խմորասուն պայմանները, պլաստինների բեռնման քանակը և նախորդ մշակման վիճակը կարող են ազդել իրական հեռացման արագության և համասեռության վրա:

Հաստատված գործընթացային բաղադրատոմսերը պահպանելով՝ հաճախորդը կարող է նվազեցնել օպերատորից օպերատոր տատանումները և բարելավել հաջորդ սերիաների վրա կրկնելիությունը: Մեծածավալ սերիական արտադրության սկսելուց առաջ առաջարկվում է կատարել բազմասերիային փորձարկումներ ներկայացուցչային պլաստինների օգնությամբ՝ հեռացման արդյունավետությունը, համասեռությունը և գործընթացի կայունությունը ստուգելու համար: