2D նյութի գլանցում / 2D նյութի պատերազմ

Time : 2025-04-22

Ներքին չափումներով նյութերի ստորագրումը հղում է երկու չափումներով նյութերի (ինչպիսին է գրաֆենը, մոլիբդենային դիսուլֆիդ և այլն) և մեկ չափումներով նյութերի (ինչպիսին են նանոսլացները, նանոտուբներ և այլն) ստորագրման գործընթացին: Ներքին չափումներով նյութերի ստորագրման նպատակը՝ պատրաստել նանոկառուցվածքներ նշանակված ձևերով և չափումներով, որպեսզի հասանել նյութերի հատկությունների և սարքերի արդյունավետության կառավարումին և օպտիմալացմանը: Ներքին չափումներով նյութերը ստորագրվում են սովորաբար քիմիական ստորագրման մեթոդներով: Այն օգտագործում է քիմիական ռեակցիաներ նյութերի մշակման համար, և սովորաբար օգտագործվող քիմիական ստորագրման մեթոդները ներառում են նետումային ստորագրում և խառնարանային ստորագրում:

Ավելացման բարդությունները տարածված նվազագույն չափանի նյութերի համար կապված են՝ 1. Ավելացման ընտրություն. Տարածված նվազագույն չափանի նյութերին տարբեր ավելացման պայմանների համար կարող են լինել տարբեր պահանջներ, և պետք է ընտրվեն սահմանափակ ավելացման պայմաններ՝ նյութի սեռական հատկությունների հիման վրա, օրինակ՝ ավելացման գազ, ուժ, ժամանակ և այլն: 2. Ավելացման որակ. Տարածված նվազագույն չափանի նյութերի ավելացման որակը прямыми կարևորություն ունի նրա արդյունավետության և կիրառության համար, և պետք է կառավարվեն ավելացման արագությունը և խորությունը՝ հեռացնելու ավելացող կամ բացասական ավելացումներից: 3. Ավելացման հավասարակշռություն. Տարածված նվազագույն չափանի նյութերի ավելացման հավասարակշռությունը կարևոր է բարձր որակի սարքեր պատրաստելու համար, և պետք է կառավարվեն պարամետրերը՝ օրինակ՝ ջերմություն, գազի հոսանքի արագություն, ճնշում և այլն՝ ավելացման գործընթացի ընթացքում հավասարակշռություն ապահովելու համար: 4. Ավելացման հետո մասնակցություն. Ավելացման հետո նմուշը պետք է լվացվի և մասնակցվի՝ հեռացնելու ավելացման արդյունքները և մնացած ավելացման գազերը՝ նմուշի մակերևույթի որակի և կայունության ապահովման համար:

Երկչափ էլեկտրոնային հաստ մարդալավեր նշանակում են նոր երկչափ նյութեր, որոնք ունեն մեկ կամ քիչ ատոմային շերտերի հաստություն և գլխավորապես ձևավորվում են կովալենտ կապով:

Գլխավորապես ներառում է:

1. Գրաֆենը, h-BN-ը;

2. Տրանզիցիոնալ մետաղական օքսիդները;

3. TMC-ները, MX ₂մ=Mo, W, Re, Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Pt, Pd, Fe; X=S, Se, Te), MoS ₂, WS ₂；եւ այլն:

4. Երկուսանիշ III/IV/V ածխավորման հիմնված նյութեր և այլն.

Երկու չափումներով էլեկտրոնային բարդ նյութերի վերագրված հեռանական հետազոտությունները, մասնավորապես գրաֆենային նյութերի վերաբերյալը, կարող էին կենտրոնացվել երկու չափումներով նյութերի պատրաստման մեթոդների վրա՝ օրինակ, մեխանիկական քաղցում, վերականգման, դեպոզիցիայի վրա, ինչպես նաև նյութերի հատկությունների վերաբերյալ հետազոտությունների վրա։ Երկու չափումներով մեծ չափումներով բարդ նյութերի պատրաստման անընդհատ դարձնումների հետևանքով, մարդիկ սկսեցին դիվանալ սարքերի պատրաստման վրա։ Երկու չափումներով բարդ նյութերի հասարակումը և նախագծավորումը սարքերի պատրաստման համար կարևոր է։ Ա憬ական կարգավորման պլազմայի խանգարումը երկու չափումներով նյութերի հասարակումի և նախագծավորման ժամանակ ունի երկու կենտրոնացված անհաջողություն՝

1. Գերազանցյալ քաշման արագությունը չի կարող բավարարել երկու չափումներով նյութերի ատոմային շերտերի (սուբ նանոմետրային մակարդակ) ճշգրիտ և կայուն քաշմանը։

2. Высокоэнергетическое ионное бомбардирование может вызвать структурные повреждения двумерных материалов, что приводит к дефектам материала

Характеристики, которые должны присутствовать у специализированной установки для травления двумерных материалов, включают:

1. Контроль выходной мощности на уровне милливатт;

2. Минимальная начальная мощность должна контролироваться ниже 5 Вт;

3. Постепенное управление травлением слоями, с скоростью травления, которая может точно регулироваться от 0,3 до 10 слоев в минуту

4. Իոնային էներգիան ընդհանուր մուտքագրման համար կարող է լինել 10 էՎ-ից կم կամ ավելի։

2D նյութերի ստորական լուծում - SHL 100 μ/200 μ - RIE

Մենք զբաղեցրել ենք SHL 100 μ/200 μ - RIE շարքի մաքինան միկրոպլազմային տեխնոլոգիայի հիման վրա՝ լուծելու համար վերջինս նշված երկու չափումներով նյութերի ձևավորման կիրառման խնդիրները։ Այս մաքինան օգտագործվում է երկու չափումներով նյութերի, ինչպիսիք է գրաֆենը, շերտերի մինիմալացման և ձևավորման ստորականում։ Նկար 2-ն ցույց է տալիս երկու չափումներով նյութերի ստորական մաքինայի մասնավորությունները։

微信图片_20231207120116.jpg

Երկու չափումներով նյութերի ստորական մաքինաների հիմնական կիրառությունները են՝

1. Երկու չափումներով նյութերի ստորական սահքանումը՝ պատրաստելու համար միաշերտ կամ քիչ շերտերով երկու չափումներով նյութերի մուտքագրող մոդելներ։

2. Երկչափ նյութի պատկերի գրավիրում համար երկչափ սարքերի պատրաստումից հետո

3. Երկչափ նյութի փոխարինման մշակում

Երկչափ նյութի գրավիրող մաքինայի կարևոր դրամանշական ցուցիչները:

1. Կարող է 辦理 մուտքագրել մինչև չորս դյույմ/ութ դյույմ և փոքրանիշ չափի մուտքագրություններ;

2. Ավելի զգալի պլազմայի գրավիրում: Կարող է ստանալ գործառույթի ուժ, որը կարող է հասնել մինչև 3 Վ (@ 100 մմ էլեկտրոդ) ՌՖ (@ 13.56 ՄՀц), ուժի խտությունը կարող է հասնել մինչև 38 մՎ/սմ2 և ունենալ արտադրության ուժի ճշգրիտություն փոքր 0.1 Վ-ից;

3. Իոնային էներգիան ընդհանուր դեպքում կարող է լինել 10 էՎ-ից ցածկ։

4. Կարող է ստանալ կայուն և ճշգրիտ ատոմային շերտ սառչում 0.1 շերտ/րոպե մին 1 շերտ/րոպե միջավայրում։

Երկու չափումներով նյութերի սառչման մաքնինի հիմնական կառուցվածքն է՝

1. Կարող է տրամադրվել 3-8 գործողության գազերով և մետաղական փակ MFC-ով թվային կառուցվածքով։

2. Սեմիկոնդուկտորային 6061 ալումինիով գործողության սենյակի նյութի օգտագործումը՝ ստainless steal նյութերում պարունակվող անպարզ տարրերից ազդեցության բացառման համար։

3. Կարգավորման սենյակը կարող է տրամադրվել, իսկ պրոցեսային սենյակի հատուկ վակուումը կարող է հասնել 4 x 10-4 Па;

լից ավտոմատացված պրոցեսային կառավարում, մականիշային օգտագործողի մուտքի կառավարում, պրոցեսային տվյալների և մաքինայի վիճակի տվյալների իրականացնող գրանցում, Recipe պրոցեսային գրադարանի կառավարում և կոչում, կոմպոնենտների կյանքի ցիկլի կառավարում և խանգիրքի ինքնաստուգում:

2D նյութերի հանգույցի մաքնի գրաֆիկական արդյունքներ:

SHL100μ-RIE, 38 мВт/սմ ², 10s: Բազմակարգություններից պակաս շերտերի մակերևույթի վրա մնացորդների կLEAN: ₂.