Géarchomhráidheacht IC nó integrated circuit design, tá uchtán airgeadúil aici i gcnaipeanna próiseas nano, agus íosann an airgeadúilíocht an tuarascáil na n-úsáid atá ar fáil. Nuair a iomparann trasistoraí níos faide isteach san phróiseasúr, féadfann an chip níos mó de chuid fheidhmeanna a bhaint amach, a chuirfidh go díreach béim síneadh ar chostas phróiseasúr a chruthú. Ach mar thiocann nódaí phróiseas i gcruaicheanna iomlán inmheánacha níos lú, léiríonn measúnú dimensiún criticiúil rudaí mór. Is breá tábhachtach measúnú agus anailís eolais muirisc géarchumhachta mar shampla tréimhse nano, leithead líne, ard líne, córa liosta scáile, agus cruaithnaitheacht.
Réiteach:
Trí úsáid na matrach Muellair le hathrú meastachán, bhaineadh 16 scagán eolais polaireas, agus bhreathnódh ar pharaiméadair níos fíor ellipsometry (PSI: cúram amplitiud, △: difríocht phaistí). Bhaineadh uileachán optics ceannscríofa i gcás chéimeanna atá bunaithe ar fhítithe, agus mar sin measadh agus díritheadh faisnéis geiméadrachta cosúil le cian chúnta na n-ionstruchtúir, leithead líne, ard líne, gcairtim ball taobh, agus rudaí.
Éagarthaigh módal optics
Faisnéis comhrac polaireas
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
