scailpadh Mháirteal 2D / Patterning Mháirteal 2D

Time : 2025-04-22

Is é an réitightheacht maithreach idirchaighdeánach próiseas a réitíonn maithreach idirchaighdeánacha dhá-thiománacha (mar shampla ghraféin, molybdén disiulfid, agus eile) agus maithreach idirchaighdeánacha uathu-thiománacha (mar shampla fiaclóga nanó, píobaí nanó, agus eile). Tá sprioc an réitightheachta maithreach idirchaighdeánach seo chun struchtúir nanó le cúrsaí agus méid áirithe a chur i gcás, chun cinntiú comhionann agus fheidhmniúchán na ndáil agus na n-éadach. Réitítear maithreach idirchaighdeánacha go ginearálta trí mhétadaí réitightheachta cheimice. Úsáidtear freastalacha ceimice chun na maithreach sin a phróiseáil, agus bíonn na métadaí réitightheachta cheimice is féidir leo a úsáid mar réitightheacht bhainne agus réitightheacht tharla.

Na díobhaltaí i ngnimh scailpeadh maithíní éagsúla de chomh maith le: 1. Scailpeadh roghnaithe: Tá riachtanais éagsúla ag maithíní éagsúla faoi mhéid na scailpe, agus caithfidh scailpeadh riachtanais a roghnú ar bun ar na spéiseanna speisialta den stofaí, mar shampla, gas scailpe, fuinneamh, am, agus céanna eile. 2. Gníomhacht scailpe: Tá an ghníomhacht scailpe maithíní éagsúla inmholta go dlúth orthu a gcumas agus a n-úsáidí, agus caithfidh an rát agus an gleann scailpe a rialú chun scailpeadh mór nó bréige a chaomhnú. 3. Nodaireacht scailpe: Is fíor tábhachtach an nodaireacht scailpe maithíní éagsúla don bhunadh uirlisí ardchaighdeála, agus caithfidh paraiméadair mar théamperatúr, réitheadh ghaiscigh, agus sprioc a rialú chun nodaireacht scailpe a chomhlíonadh. 4. Treoirlínte tar éis scailpeadh: Tar éis scailpeadh, caithfidh an sampall a ghlanadh agus a threoirlíneadh chun ionramhacha scailpe agus na gasa scailpe idirtheangtha a bhaint amach, cinntiú ar an gceartlann agus stabilité ar fheabhs an tsampail.

Rudaí smúitithe leictreacha idirtheangacha a dhéanann iarracht ar mhaitheasaíochtaí nua idirtheangacha le fad taobh amháin nó cúpla taobh atómaíoch mar thoradh ar dhlúthchúlraíocht.

A chuid is mó a chomhlacmhál:

1. Graiféin, h-BN;

2. Díchithe mealltóirí;

3. TMCs, MX ₂(M=Mo, W, Re, Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Pt, Pd, Fe; X=S, Se, Te), MoS ₂, WS ₂；srl.

4. Briathra Iodál III/IV/V bunaithe ar súlfear, agus íne.

Dlíth an taighde chun tosach ar mhaitéar éadrom dhá theangaireacht, go háirithe mhatéar ghráif, bhí foirfe ag fiosrú ar mhodhanna préparáidh don mhatéar dhá theangaireacht, mar shampla, scilgéacht meicniúil, leasú, cur i gcás, agus céanna, agus staid chimire an mhatéar a fhoghlaim. Le cúram chontiobhrt san aimsir atá romhainn ar phréparáidh bród mór-dhéantach don mhatéar dhá theangaireacht, thosaigh na daoine a bheith ag feiceáil isteach sa phréparáidh d'fheabhsuithe. Is féidir leis an scilgéacht plasmóige seimiteach traidisiúnta do mhatéar éadrom a bheith in ann an scilgéacht agus patrúnadh don mhatéar dhá theangaireacht:

1. Ní féidir le luas scilgeacha a lorg a bheith i ngleic le scilgéacht uafásach agus comhshuiteach don ábhar tomadán 2D (níos faide ná nanoméadar);

2. Díriú ión líofa n-éнергии is féidir go gcaoiughadh díobháil struchtúrtha ar mhaitheala 2D, le haghaidh íomháin diúltuithe

Na comharthaí a thabharfaidh mion-chuntas speisialta don eitheadh do mhathealacha dhá-thodhancha caithfidh a bheith acu:

1. Glacadh ar an ngéarchumas fuaime ag an leibhéal mílliwát;

2. Cuirfear an geimhreadh tosaithe míoraimh faoi chontroll chuige 5W;

3. Glacadh ar eitheadh céim ceim, le rata eitheadh is féidir a chontrollí go príosúnach idir 0.3 agus 10 céim in aghaidh na nóiméad

4. Is féidir le hion annamhach an t-échantillon a bheith chomh íseal nó níos íseal ná 10 eV

foilsiú Leasaithe Mhatarál 2D - SHL 100 μ/200 μ - RIE

Tá an mhaighine SHL 100 μ/200 μ - RIE sraith curtha i láthair againn ar bun teicneolaíocht microplasma chun na ceisteanna úsáideacha faoi théama patrúin mhatarál 2D a thaispeáint os ár gcomhair. Tá an maighine ag caomhnaí leasaithe réad agus leasaithe phatrúnaithe ar mhatarál 2D mar ghráif, mar a léirítear i dPhictiúr 2.

微信图片_20231207120116.jpg

Is é na himpleacaim príomhacha don fhoilsiú leasaíthe mhatarál 2D:

1. Leasaithe di Glasadh Mhatarál 2D chun sampill 2D rudaí leathan nó rudaí leathan amháin a chur i gcás

2. Sníomh patrúin mhatéadál 2D chun scileanna mhatéadál 2D a chur ar fáil

3. Glacadh le forbairt mhatharál 2D

Méadar na n-úsáid chainte agus sníomhaithe matraídh dímhion:

1. Is féidir leis pléascaí go háirithe ceithre inch/eight inch nó níos lú i ngéarchéim;

2. Sníomh plaasma uafásach: Is féidir léi cumhacht phróiseas chomh íseal sin mar 3 W (@ 100mm eitleán) RF (@ 13.56 MHz), le cúlra chúnta chomh íseal sin mar 38 mW/cm2 agus cúnamh chúnta chun cumhachta níos ísle ná 0.1 W;

3. Is féidir le hionannas 10 eV a bheith ag an n-ghnáth iona chun an sampall a thabhairt ar;

4. Is féidir leis rangoireacht sóide atómach stailte agus príobháideach a bhaint amach ó 0.1 strata/min go 1 strata/min;

Is é an chonfigúracht phríomh d’fheidhmchlár scileadh na n-madraí dhá-théad:

1. Is féidir a chur i gcásamhacht le 3 go 8 gaiscí phróiseasa agus a chontroll go dtíogach le MFC foirfealanna íochtartha;

2. Ag úsáid alabhar 6061 leibhéal seimicondictior mar mhatéarál an tsraith phróiseas chun comhdhíotacha na ndóigh shainléithe a ghlanadh ón tsampall;

3. Is féidir an seomra clúdaigh nasiún a chumrú, agus is féidir leis an nádúr fhuíonach phróiseas a éirí go dtí 4 x 10-4 Pa;

4. Briotaimh iomlán chóipéadach próiseas, Bainistíocht logála úsáideora leibhéilte, Cronnadh iomlán sonraí próiseas agus stádas na mbiach in real time, Bainistíocht bunachar próiseas Recipe agus glacadh, Bainistíocht cairde chun cásanna beatha agus seiceáil fheabhsaithe.

torthaí ghráfais dhoimhnithe 2D: