طراحی مدار جامد، که همچنین به آن طراحی مدار مجتمع گفته می‌شود، دقت بسیار بالایی در فناوری فرآیند نانو دارد و هرچه دقت بیشتری داشته باشد، فرآیند تولید پیشرفته‌تر است. وقتی ترانزیستورهای بیشتری در پردازنده ادغام می‌شوند، می‌تواند عملکردهای بیشتری را انجام دهد که این موضوع مستقیماً هزینه تولید پردازنده را کاهش می‌دهد. اما هنگامی که گره‌های فرآیند در مدارهای مجتمع کوچک‌تر می‌شوند، اندازه‌گیری بعد اساسی نیز با چالش‌های بزرگی مواجه است. اندازه‌گیری و تحلیل اطلاعات شکل هندسی مانند دوره ساختار نانو، عرض خط، ارتفاع خط، زاویه دیواره جانبی و خشکی بسیار حائز اهمیت است.
راه‌حل:
با استفاده از اندازه‌گیری الیپسومتری ماتریس مولر، ۱۶ مجموعه از اطلاعات قطبش به دست آمد و پارامترهای دقیق‌تر الیپسومتری (PSI: نسبت دامنه، △: تفاضل فاز) به دست آمد. صدها مدل نوری داخلی برای برازش استفاده شد و سپس اطلاعات شکل هندسی مانند دوره ساختار نانو، عرض خط، ارتفاع خط، زاویه دیواره جانبی و درشتی اندازه‌گیری و تحلیل شد.
ایجاد مدل نوری
اطلاعات عنصر قطبش
گوانگژو میندر-هایتک کو.,لtd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
