





|
Nguồn plasma
|
RF+BIAS
|
||
|
Sức mạnh
|
1000W
|
1000W
|
|
|
600W
|
600W
|
||
|
Phạm vi áp dụng
|
4-8 inches
|
||
|
Số lượng phiến xử lý đơn lẻ
|
một
|
||
|
Kích thước bên ngoài
|
1140mm x 1050mm x 1620mm
|
||
|
Kiểm soát hệ thống
|
Hệ Thống Kiểm Soát Công Nghiệp
|
||
|
Mức độ tự động hóa
|
Hướng dẫn sử dụng
|
||








Bản quyền © Công ty TNHH Minder-Hightech Quảng Châu. Tất cả các quyền được bảo lưu.