חיתוך: אחד משלושת המתקנים היסודיים בייצור חלקי חשמל

חיתוך: תהליך מפתח לתבנית חלקי חשמל, חשיבותו מוסברת.

הכרייה היא התהליך המרכז של תבנית סמikonductors, והמכונה לכרייה נחשבת לאחד משלושת המכשירים היסודיים בייצור סמikonductors. ציוד לכרייה משמש בעיקר להסרת חומרים באזורים מסוימים כדי ליצור תבניות מבניות קטנות. הוא נחשב לאחד משלושת המכשירים היסודיים בייצור סמikonductors יחד עם פוטוליתוגרפיה וטיפוח שכבת דקה, והחשיבות שלו בולטת והמעמד שלו קריטי.

ציוד לכרייה: הכרייה יבשה היא השיטה העיקרית, עם ICP ו-CCP מחולקים באופן שווה

ניתן לחלק את הכרייה לכרייה לחות וכרייה יבשה. לכרייה לחות יש אניזוטרופיה גרועה, והקירות הצדדיים נוטים להכרות אופקי, מה שגורם להטיית הכריה. בדרך כלל היא משמשת לתנאים עם גודל תהליך גדול יותר. הכרייה יבשה היא הטכנולוגיה העיקרית כיום, שבה כרייה יבשה פלזמית היא הרווחה ביותר בשימוש.

לפי שיטת ייצור הפלזמה, חיתוך פלזמה מחולק לשני קטגוריות: ICP (חיתוך פלזמה אינדוקטיבי) ו-CCP (חיתוך פלזמה קפצייטיבי). ICP משמש בעיקר לחיתוך סיליקון, מתכת ובعض החומרים הדיאלקטריים, בעוד ש-CCP משמש בעיקר לחיתוך חומרים דיאלקטריים. לפי נתוני Gartner, ב-2022, בשוק העולמי של ציוד חיתוך, יהיה ל-ICP ול-CCP חלק שוק של 47.9% ו-47.5% בהתאמה, עם חלק שוק כולל של 95.4%, שהוא המזרקה של ציוד החיתוך.

הטנדה: חיתוך ברמת אטום (ALE)

הציוד של חיתוך פלזמה מסורתי מواجهת סדרה של אתגרים כמו נזק בחיתוך, אפקט טעון ודיוק בקרן, בעוד שחיתוך ברמת האטום (ALE) יכול להשיג חיתוך מדויק ברמת האטום הבודד וזהו פתרון יעיל. ALE ניתן להתייחס אליו כאל תהליך המראה של ALD. עקרונו הוא: 1) הבאת גז הקישור לחדר החיתוך והצמדתו על פני השטח כדי ליצור שכבה קשורה. זהו שלב שיפוץ ויש לו תכונות עצמיות של עצירה; 2) הסרת הגז הקישור עודף בחדר, הבאת גז חיתוך כדי לפגוע בשטח החיתוך, הסרת שכבה קשורה ברמת האטום והחשיפה של השטח לא מודifikasi. זהו שלב חיתוך ויש לו גם תכונות עצמיות של עצירה. לאחר השלמת השלבים הנ"ל,можно withdמויי להסיר בדיוק את התאווה של השכבה האטומית היחידה על השטח.

היתרונות של שכבת אטום (ALE) כוללים: 1) ניתן להשיג חיתוך כיווני; 2) ניתן להשיג כמות חיתוך שווה גם אם היחס האספקט שונה.

ציוד לחיתוך: אחד משלושת המתקנים הגרעיניים, עם גודל שוק משמעותי.

כמתקן אחד מבין שלושת המתקנים הגדולים בייצור חומרים למחשוב, יש למתקן החיתוך ערך גבוה וגודל שוק משמעותי. לפי נתוני Gartner, בשנת 2022, ציוד לחיתוך התאמה ל-22% מהערך של ציוד קדימתי למחשוב, רק אחרי ציוד להפקת שכבות דקיקות; במונחים של גודל השוק, לפי נתוני Mordor Intelligence, בשנת 2024, גודל השוק העולמי של ציוד לחיתוך במחשוב צפוי להיות 23.80 מיליארד דולר אמריקאי, ובשנת 2029 הוא צפוי לצמוח ל-34.32 מיליארד דולר אמריקאי, עם תוחלת גידול שנתי מחזורית (CAGR) של כ-7.6% במהלך התקופה, עם גודל שוק משמעותי וקצב גידול מהיר.