Hlutið sem kallað er IC design eða íslensk integrated circuit design, hefur há gefna nárgildi í nánóferliþegar. Þær hærra náhæfðirnar eru, þeim tíðum er framleiðslaferlinu frekar frumvarplegt. Þegar fleiri transistörar eru samsettar inní hlutveita, getur hluturinn fengið fleiri aðgerðir og það lækka átt viðframleiðslukostnað hlutarins. En meðan ferlifjöldi í sameinduðum hringsvæðum verður minni, stendur mæling af mikilvægum formlegum upplýsingum einnig fyrir mikilvægar úthöllunir. Er mjög mikilvægt að mæla og greina upplýsingar um rúmfræðileg formhætti eins og tímabil nánóstrúktúr, lína breidd, lína hæð, veggja horn og rodd.
Lausn:
Með því að nota mælingu með Mueller fylki ellipsometri var sáð 16 samruna af uppsprettunarupplýsingum, og sáðar vísur ellipsometri (PSI: hlutfallshluti, △: fázaskill) sem eru nákvæmari. Hundraðir innbyggðir lýsiskipanir voru notuð til að gera samræmingu, og síðan mældar og greindar voru rúmfræðilegar upplýsingar eins og lotur annars stigs, lína breidd, lína hæð, hallistig veggja og rofnið.
Stofna lýsiskipann
Upplýsingar um uppsprettunareiningu
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
