MD-2300 röðunargerðar vefjaskífu plösumyndavörpunarskráningaraflfjarlægir: uppsetning og reynslukeyrsla lokið í Evrópu.

Yfirlit yfir verkefni:

Minder-Hightech MD-2300 röðunargerðar vefjaskífu plösumyndavörpunarskráningaraflfjarlægir hefur verið sett upp, reynd og tekin yfir – með fullri rekstrarþjálfun – á staðsetningu viðskiptavinar í Evrópu. Þessi búnaður er aðallega hannaður fyrir fjarlægingu myndavörpunar og afkvefjun á yfirborði vefjaskífna og býður viðskiptavinum upp á stjórnuð RF-plasmaframleiðslu fyrir framleiðslu hálfleiðara og mikrorafrisa.

Verkefnisviðfangsefnið innihélt ekki aðeins afhendingu plasma-ashingu-tæknisins, heldur einnig uppsetningu á staðnum, inspektionu, virkni-sannvottun, þjálfun notenda og kynningu á grunnferlum. Með þessum þjónustu á staðnum náðu starfsfólk viðskiptavinarins innsýn í uppbyggingu tæknisins, starfsröð, uppsetningu ferla og reglulegar viðhaldsþörf, sem lagði grunninn fyrir síðari staðfestingu ferla og massaframleiðslu.

Kröfur viðskiptavinar:

Viðskiptavinurinn krefst lausnar fyrir meðhöndlun á ljósvarnahlutum og ferlismyndum á flatarmáli vefja. Eftir því hvaða framleiðslustig er í umræðu getur flatarmál vefjanna haft fullt lag ljósvarnahluta eða aðeins þunnar afgangsmyndir af undirlagi eða líffæra efni. Þess vegna verður tæknin að styðja bæði massafjarlægingu ljósvarnahluta og nákvæmari yfirborðsmeðhöndlun, svo sem afkvefingarferli. Fyrir heilbrigða fjarlægingu ljósvarnahluta verður plösmuskerfið að geta fjarlægt tiltekna ljósvarnahlutalagið innan skynsamlegs tímabils. Þegar um afkvefingarferli er að ræða er miðað við að fjarlægja þunnar afgangsmyndir við grunn mynsturs eða á ákveðnum svæðum, á meðan á sama tíma er stýrt áhrifum ofmargra ferla á vefjauppbyggingu og síðari framleiðsluskref.

MD-2300 Plösmu-LJÓSVARNAHLUTA kerfi: Kynning, uppsetning og meðhöndlunarreglur ：

Kerfið býður upp á stillanlega RF afl, rásarhraða ferlisgas, vacuumþrýsting og framleiðslutíma, sem veitir flóxleika til að sérsníða ferla fyrir ýmsar kröfur um afvötnun ljósvarpsmálmfjölva. Lokareyndir verða að vera hámarkaðar út frá ákveðnum gerðum ljósvarpsmálmfjölva, þykkt fjölva, ferlum á undan og samþykktarmörkum sem viðskiptavinurinn notar.

Þetta vefjarplasma kerfi til afvötnunar ljósvarpsmálmfjölva notar 13,56 MHz RF plasma tækni, með stillanlegum RF aflsútflæðisviði frá 0 til 1000 W. Súrefni er notað sem aðalferlisgas fyrir ljósvarpsmálmfjölva-ashingu og afvötnun örgjörva saurna, en argon getur verið notað sem aukagas eftir þörfum ferlis.

Þegar kistin náði ákveðnu undirþrýstisstigi eru ferilgasar settar inn í kvarts-gerðarbrunninn, þar sem RF-orða myndar plasma. Virk efni í súrefnisplösum brenna orgníska hlutana í ljósvarninu og mynda flýgjandi aukafrumur sem eru dregnar út með undirþrýstikerfinu, þannig að þurr ljósvarnastæring og yfirborðsreining verða framkvæmdar.

Í samanburði við vötnuða stæringaraðferðir minnkar plömu-stæringa á ljósvarna notkun á efnum og gerir kleift nákvæma stjórn á afl, rásartíð, þrýstingi og tíma með uppsetningu á ferlum. Hins vegar þarf allar stæringaraðferðir að staðfesta miðað við ákveðin efni—sérstaklega þegar unnið er með ljósvarna sem hefur verið útsett háum dósum íljótskotunar, þykktum varnalögum eða vefjum með hita-virkum uppbyggingum.

Uppsetning og reyndaröfnun á staðinum:

Þegar búnaðurinn kom á staðsetningu evrópska viðskiptavinarins, skoðuðu verkfræðifólk fyrst ytri hluta búnaðarins, lykilhluti hans og ástand eftir flutning, og settu síðan upp eininguna samkvæmt uppsetningarkröfum. Næst staðfestu þeir tengingar fyrir rafmagnsveitu, ferlisgas, þjöppuða loft, útgangsgas og aðrar hjáþjónustuþjónustur.

Tilvísunarkröfur fyrir rafmagnsveitu MD-2300 plasma asher eru AC 380 V, 50/60 Hz, 40 A. Viðskiptavinarstaðurinn verður einnig að veita súrefni, argon, stickstoff og þjöppuð loft sem uppfylla ferliskröfur. Hreininda, þrýstingur, rörstengingar og útgangsskilyrði fyrir gas verða staðfest í samræmi við lokastillingu búnaðarins og hjáþjónustukröfur.

Eftir að hafa lokið tengingum við notendakerfi reyndi verkfræðilíkinn kerfisstýringuna, tómurásskerfið, ferlisgasrörin, RF aflaupplyssan, samstillunarkerfið og öryggisvernsaðgerðirnar kerfisins kerfisbundið. Þegar grunnvirkin á vélinni voru staðfest sem venjuleg, var framkvæmd prófun án álagningar og virkniathönnun.

Nám á staðnum var lykilþáttur í afhendingu plasma-ashersins. Námið felldi í sér ræsingu vélarinnar, slökkvun, sjálfvirka rekstur, handvirkan rekstur, breytingu á ferlismálsgreinum, birgðaframvindu og meðferð óvenjulegra aðstæðna.

Starfsfólk lærði hvernig á að búa til ferlismálsgreinar byggðar á ákveðnum vörum og stilla lykilstillingar, þar á meðal:

- Sprettur syrefloks og argonfloks;

- RF úttaksafl;

- Starfsþrýstingur í kistunni;

- Framvindutími;

- Tómurás- og gasfyllingaraðgerðir;

- Lofttæmingaraðferð eftir lokið ferli.

Þjálfunin lagði einnig áherslu á mikilvægi stýringar á ferlareglum. Fyrir tæki til að fjarlægja ljósvarnur frá vefjum getur eitt sett af stillingum ekki verið viðeigandi fyrir öll vöru. Þættir eins og gerð ljósvarna, þykkt þeirra, skilyrði við steikingu, fjöldi vefja í hleðslu og staða framleiðslu á undan geta allir haft áhrif á raunverulega fjarlægingarhraða og jafnvægi.

Með því að vista staðfestar ferlareglur getur viðskiptavinurinn lágmarkað breytileika milli starfsfólks og bætt endurtekningu í síðari birgðum. Áður en heilbrigð framleiðsla er hafin er ráðlagt að framkvæma prófun á mörgum birgðum með táknavöfum til að staðfesta fjarlægingaraðstönd, jafnvægi og ferlastöðugleika.