Cuireadh an t-éadachán MD-2300, a úsáideann an t-ghas plasma chun an fhotachóras a bhaint ó bhuaicí, i gcrích agus cuireadh i bhfeidhm in Eorpá.

Breathnú foriomlán ar an tionscadal:

Tá an córas Minder-Hightech MD-2300 le haghaidh scaipeála fhothair trí phlasma, a úsáideann an t-ordú báis, suiteáilte go rathúil, comhshaoilte agus curtha i gceart ag an gcustaiméir san Eorpach. Cuireadh an oiliúint oibre ar fáil freisin. Is é príomhúsáid an chórais seo ná scaipeáil an fhothair agus an bhreisghníomhaíocht a dhéanann sé ar dhuine ar fhoirne, ag soláthar cumas próiseála plasma RF rialaithe do thionscadal na seimiconduictéirí agus na micreileictreonics.

Bhí raon an tionscail ag fanacht níos mó ná soláthar na himpleachtaí plasma-ash; bhí ionchur ar an suíomh, inspéacht, dearbhaíocht fheidhmiúil, oiliúint oibrithe, agus tionscadal ar phrionsabail bhunúsacha an phróisis ann freisin. Trí na seirbhísí ar an suíomh seo, bhain oibrithe an chustaiméara eolas ar struchtúr na himpleachtaí, ar an abairt oibriúcháin, ar chumrú na mbreiseán, agus ar riachtanais an choinneála laethúil, agus mar sin, cuireadh bunús le dearbhaíocht an phróisis ina dhiaidh sin agus le tógáil mhórchumasa.

Riachtanais an Chustaiméara:

Tá riachtanas ag an gcustaiméir ar réiteach chun photoresist agus fiacha próiseasa a bhaint de shuíomhanna na mballaí. I mbás le staid áirithe na tionscail, d’fhéadfadh an dromchla ballaí a bheith lánleathaithe le photoresist nó amháin le scuabanna tanaí de phríméar nó de mhatéir orgánach. Mar sin, ní mór don ollamh tacú le próiseasanna bainte photoresist i gceannas agus le próiseasanna tréimhsí dromchla níos finiúla, mar shampla descumming. Don úsáid i mbaint iomlán photoresist, ní mór don chóras plasma a bheith in ann an plastar sprioc a bhaint laistigh de am rialta. Maidir le próiseasanna descumming, tá an béim ar bhaint scuabanna tanaí ó bhun patrún nó ó cheantar áirithe, agus ag an am céanna, an tionchar a dhéanann an próiseas ró-thréimhsiú ar struchtúir na mballaí agus ar chéimeanna tionscail atá le teacht a rialú.

Córas Plasma PR MD-2300: Intreo, Cumraíocht, agus Prionsabail Phróiseasaithe ：

Tairgeann an córas cumhacht RF inbhuanaithe, rátaí srutha gás próiseála, brú fholamh, agus ama próiseála, ag tabhairt solúbthachta chun próiseáil a chur in oiriúint do riachtanais éagsúla bhaint as an gcríochphréimhse. Ní mór na ceanglanna deireanacha a oiriúnú bunaithe ar an gcríochphréimhse shonrach, ar thionchar an chríochphréimhse, ar phróiseáil roimhe sin, agus ar na critéir glacta isteach a úsáideann an custaiméir.

Úsáideann an córas plasma críochphréimhse seo teicneolaíocht plasma RF 13.56 MHz, le raon cumhachta aschuir RF inbhuanaithe ó 0 go 1000 W. Úsáidtear ocsaigine mar an príomhghás próiseála le haghaidh ashadh críochphréimhse agus baint as cianchórais orgánacha, agus is féidir argón a úsáid mar ghás cabhrach i mbás le riachtanais an phróiseáil.

Nuair a bhaintear an leibhéal fholmara sprioc leis an gcomhla, cuirtear gásanna próiseas isteach sa chomhla criostail, áit a n-ghinann fuinneamh RF plasma. Tá na speicis freagartha laistigh den phlasma ocsaigine ag freagairt leis na comhpháirteanna orgánacha den phostréisiúr chun táirgí taobh amach a tháirgeadh a ndéantar as an gcóras fholmara, agus mar sin, déantar an postréisiúr a bhaint go tirim agus an uirlis a ghlanadh.

I gcomparáid le modhanna bainneach an bhaint, laghdaíonn an bhaint phlasma ar an bpost-réisiúr an úsáid cheimiceach agus cheadaíonn sé smacht cruinn ar an gcuideachta, ar an ráta sreabháin, ar an bpréis, agus ar an aimsir trí shocrú na mbreithiúnas. Áfach, tá bailíocht riachtanach do aon phróiseas bhaint bunaithe ar na hábhair shonracha i mbun – go háirithe nuair a bhíonn postréisiúr a d’fhág ionaigh impleachtaí ina dhiaidh sin, struchtúir tharbhacha tanaí, nó struchtúir báis a bhfuil a dtiocas teochta íogair.

Instialáil agus Cumasú ar an suíomh:

Nuair a tháinig an t-equipéil ag an suíomh an chustaiméara Eorpach, rinne foireann innealtóireachta an t-uisce ar an taobh amuigh den eipeac, ar na príomhchomhphoirt, agus ar an gcumraí tar éis an iompair, agus ansin cuirtear an aonad i mbeart de réir riachtanais an leagan isteach. Ansin, dearbhaigh siad na nascanna le hinneall, le gásanna próiseas, le aer críochnaithe, le sreabhadh amach, agus le húsáidí eile an fhoirgnimh.

Is é AC 380 V, 50/60 Hz, 40 A an riachtanais le haghaidh an chumhachta tagartha don MD-2300 plasma asher. Ní mór don suíomh an chustaiméara freisin ocsaigine, argón, nitrigine, agus aer críochnaithe a sholáthar a bheidh ina chomhlíonadh le riachtanais an phróiseas. Ní mór an glanmhalartacht gás, an brú, na nascanna píopa, agus na coinníollacha sreabhadh amach a dhearbhadh i gcomparáid le comhdhéanamh deiridh an eipeac agus le riachtanais na n-úsáidí.

Tar éis críochnú na nascanna úsáide, rinne an fhoireann innealtóireachta seiceáil chórasúil ar chóras smachta, ar chóras an fhulaingthe, ar línte gás an phróisis, ar soláthar cumais RF, ar an gcóras mheaitseála, agus ar fheidhmeanna cosanta slándála. Nuair a bhí stádas oibriúcháin bhunúsach an t-equipéime i gceart, rinneadh tástáil gan lucht agus dearbhaíocht na bhfeidhmeanna.

Bhí oiliúint ar an suíomh féin mar chuid tábhachtach den t-asher plasma a sholáthar. D'fhorléirigh an oiliúint tosú agus scoir an t-equipéime, oibriú uathoibríoch, oibriú láimh, eagarthóireacht na mbreithní, próiseáil bainc, agus réiteach coinníollacha neamhghnácha.

Roghnaigh na hoibrithe conas breithní próisis a chruthú bunaithe ar bhreithnithe sonracha agus conas paramadair tábhachtacha a shocrú, lena n-áirítear:

- Rátaí sreabháin an ocsaigine agus an argón;

- Cumhacht aschuir RF;

- Brú oibriúcháin an chamara;

- Am próiseála;

- Céimeanna an fhulaingthe agus an líonadh gáis;

- Sraith aschuir tar éis chríochnú an phróisis.

Thugtar béim freisin ar thábhacht bhainistiú na mbreiseán i dtreo na hoiliúna. Don ollamh a úsáideann físeachóirí le haghaidh an fheabhsaithe ar phléascanna, d’fhéadfadh aon shraith amháin de pharaiméadarí nach mbeadh oiriúnach do gach táirge. Is féidir go mbeidh tionchar ag fachtóirí cosúil le cineál an fheabhsaithe, a thioncas, coinníollacha an t-áinmhithe, líon na bhfíseachóirí atá á gcargáil, agus stádas na n-ionchuir roimhe seo ar an ráta fíorúil agus ar an aonuaireacht.

Trí bhreiseáin próisis deartha a shábháil, is féidir leis an gcustaiméir an athrú idir oibrithe a laghdú agus an athdhéanamh a fheabhsú ar bhuisceanna níos déanaí. Roimh thosaigh an taoide mhór iomlán, moltaítear go ndéanfar tástáilí iolracha ar bhuisceanna le físeachóirí ionadaíocha chun an fheidhmíocht, an aonuaireacht agus an staidear a fhíorú.