Caractéristiques de l'équipement
1. Cet équipement est conçu pour la découpe au laser de wafers semi-conducteurs haut de gamme.
2. Équipé d’un laser importé des États-Unis, il offre une stabilité exceptionnelle pendant la découpe au laser.
3. Comprend une platine XY à moteur linéaire haute précision, anti-interférences, dotée d’une échelle à réseau, permettant efficacement d’atténuer les interférences induites par la machine sur les produits.
4. Intègre une caméra CCD de 12 mégapixels pour un positionnement précis.
5. Bénéficie d’une technologie d’imagerie achromatique et de capacités de reconnaissance d’image pour le positionnement.
6. Dispose d’interfaces externes GPIB et autres pour connecter des instruments externes destinés à la mesure ou au réglage de la résistance.
7. Le socle en marbre garantit une excellente stabilité de la machine.
Paramètres techniques
Modèle |
MDSG-LT74 |
Longueur d'onde du laser |
1064/355 nm |
Puissance du laser |
6W/4W |
Taille typique de la tache |
25-35μm |
Méthode de focalisation |
Automatique, contrôlée par programme informatique. |
Méthode de refroidissement |
Refroidissement par air |
Plage de déplacement du faisceau laser |
27 mm × 27 mm |
Résolution de mouvement |
0.76μm |
Précision de positionnement répétitif |
±2,5 µm |
Mode de déplacement |
Moteur linéaire à règle graduée anti-interférences |
Plage de déplacement) |
300 mm × 300 mm |
Précision de positionnement répétitif |
±1 µm |
Méthode de mesure de la résistance |
mesure à 4 fils |
Précision de la mesure de la résistance |
±0,02 % (résistance moyenne) |
Plage de mesure de la résistance |
0.1ω à 50 MΩ |
Vitesse de mesure |
4 µs/mesure |
Correction des erreurs de zéro et d’échelle complète |
Correction automatique |
Définition de la sonde |
Paramétrage arbitraire programmable |
Interface |
GPIB |
Dimension de l'équipement |
1430 x 913 x 1747 mm |
Poids |
617 kg |
Conditions de fonctionnement (eau, électricité, gaz) |
Humidité : < 70 % ; Alimentation électrique : courant alternatif 220 V, 2,5 kW ; Air comprimé : < 0,6 MPa, < 40 L/min |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Droits d'auteur © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Tous droits réservés
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