Η Λύση Εντοπισμού του Ελλιψομέτρου στη βιομηχανία ολοκληρωμένων κυκλωμάτων IC

Time : 2025-05-15

Ο σχεδιασμός ΙΚ, επίσης γνωστός ως σχεδιασμός ολοκληρωμένου κυκλώματος, έχει υψηλή ακρίβεια στη νανοτεχνολογική διαδικασία, και όσο μεγαλύτερη είναι η ακρίβεια, τόσο πιο προηγμένη είναι η διαδικασία παραγωγής.Όταν περισσότερα τρανζίστορ ενσωματώνονται στον επεξεργαστή, το φυσικό μπορεί να επιτύχει περισσότερες λειτουργίες, το οποίο μειώνει άμεσα το κόστος παραγωγής του επεξεργαστή. Ωστόσο, όπως οι κόσμοι διαδικασίας στα ολοκληρωμένα κυκλώματα γίνονται μικρότεροι, η μέτρηση κρίσιμων διαστάσεων αντιμετωπίζει ενormous προκλήσεις. Είναι εξαιρετικά σημαντικό να μετρηθούν και να αναλυθούν γεωμετρικές πληροφορίες μορφής όπως περίοδος νανοδομού, πλάτος γραμμής, ύψος γραμμής, γωνία πλευρών και ασάλευτοτητα.

Λύση:

Με τη χρήση μέτρησης ελιπσομετρίας μετρικής ματρίças Mueller, αποκτήθηκαν 16 σύνολα πληροφοριών πολάρωσης και επιτεύχθηκαν πιο ακριβές ελιπσομετρικές παράμετροι (PSI: αναλογία αμπλιτούδας, △: διαφορά φάσης). Χρησιμοποιήθηκαν εκατοντάδες ενσωματωμένα βαθμωτά μοντέλα για να προσαρμοστούν και μετά να μετρηθούν και αναλυθούν γεωμετρικές μορφές όπως περίοδος νανοδομιλέσεων, πλάτος γραμμής, ύψος γραμμής, γωνία πλευρών και ασύμφωνοτητα.

椭偏仪 (1).jpeg