Ausstattungsmerkmale:
1. Diese Anlage ist für das Laser-Trimming von Dickschicht-/Dünnfilmschicht-Chipwiderständen konzipiert und mit einem Laser einer führenden heimischen Marke ausgestattet, der einen extrem kleinen Fokusdurchmesser aufweist und sich daher ideal für die Bearbeitung von Dickschicht-/Dünnfilmschicht-Chipwiderstandsmaterialien eignet.
2. Sie verfügt über eine hochpräzise Linear-Motor-XY-Plattform, die eine effiziente und hochvolumige Produktion gewährleistet.
3. Ein automatisches Lade-/Entladesystem mit hoher Zuverlässigkeit stellt einen reibungslosen und unterbrechungsfreien automatisierten Betrieb sicher.
4. Das erweiterbare Matrixsystem unterstützt mehr als 256 Messkanäle.
5. Das Mess- und Steuerungssystem der neuesten Generation bietet herausragende Präzision und Geschwindigkeit. Es verfügt über achromatische Bildgebungstechnologie sowie Funktionen zur positionsbasierten Bilderkennung.
6. Die Marmorplatte gewährleistet eine außergewöhnliche Maschinenstabilität.
Technische Parameter
Modell |
MDSG-LT71 |
MDSG-LT71B |
Laserwellenlänge |
1064mm |
355 mm |
Laserleistung |
20W |
3W |
Typische Spot-Größe |
35μm |
10μm |
Fokussiermethode |
Automatisch, computergesteuert. |
|
Kühlmethode |
Luftkühlung |
Wasserkühlung |
Bewegungsbereich des Laserstrahls |
100 mm × 100 mm |
40 mm x 40 mm |
Bewegungsauflösung |
1.5μm |
0.76μm |
Wiederholgenauigkeit der Positionierung |
±5μm |
±2,5 µm |
Bewegungsmodus |
Linearmotor mit Gittermaßstab |
|
Bewegungsbereich |
300mm*300mm |
300mm*300mm |
Wiederholgenauigkeit der Positionierung |
±1,5 µm |
±1,5 µm |
Widerstandsmessmethode |
4-Draht-Messung |
4-Draht-Messung |
Genauigkeit der Widerstandsmessung |
±0,02 % (mittlerer Widerstand) |
±0,02 % (mittlerer Widerstand) |
Widerstandsmeßbereich |
0.1ω–50 MΩ |
0.1ω–50 MΩ |
Messkanal |
128 Kanäle (skalierbar) |
128 Kanäle (skalierbar) |
Messgeschwindigkeit |
4 µs/Messung |
4 µs/Messung |
Null- und Endwertfehlerkorrektur |
Automatische Korrektur |
Automatische Korrektur |
Probe-Card-Spezifikation |
Chip-Widerstand-Stiftleiste |
Chip-Widerstand-Stiftleiste |
Ausrüstungsdimension |
1430 x 913 x 1747 mm |
1430 x 913 x 1747 mm |
Gewicht |
617 kg |
617 kg |
Betriebsbedingungen (Wasser, Strom, Gas) |
Luftfeuchtigkeit: < 70 %; Stromversorgung: Wechselstrom 220 V, 2,5 kW; Druckluft: < 0,6 MPa, < 40 L/min |
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