





|
Plazmový zdroj
|
RF+BIAS
|
||
|
Napájení
|
1000W
|
1000W
|
|
|
600 W
|
600 W
|
||
|
Obor použití
|
4-8 palců
|
||
|
Počet jednotlivých zpracovávaných plátků
|
one
|
||
|
Rozměry vnějšího vzhledu
|
1140mm x 1050mm x 1620mm
|
||
|
Systémové řízení
|
Systém průmyslového řízení
|
||
|
Úroveň automatizace
|
Příručka
|
||








Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Všechna práva vyhrazena