Ултразвукова сканираща микроскопска решение за полупроводниковата индустрия

Time : 2025-02-27

Принцип на ултразвуково тестирание

Ултразвуковият преобразувател генерира ултразвуков импулс, който достига изследваното устройство чрез купажния средство (вода).

Поради разликата в акустичното импеданса, ултразвуковите вълни се отражават в интерфейса между различните материали.

Ултразвуковият преобразувател получава отраженият ехо и го преобразува в електрически сигнали.

Компютърът обработва електрическия сигнал и показва графика или изображение.

Сканираща форма

A сканиране: графика в определена точка;

Хоризонталната ос указва времето, кога графика apare;

Вертикалната ос показва амплитудата на вълната.

C сканиране: поперечно пресичащо сканиране;

Хоризонталната и вертикалната ос показват физическите размери;

Цветът показва амплитудата на вълната.

B сканиране: дължинно пресичащо сканиране;

Хоризонталната ос показва физическите размери;

Вертикалната ос показва времето, кога вълната се появява;

Цветът показва амплитудата и фазата на вълната

Многослойно сканиране: извършва се многослойно C сканиране в дължинната посока на пробата.

Трансмисионно сканиране: приемници се добавят от долната част на пробата, за да съберат предаваните звукови вълни и да генерират изображения.

Предимства и ограничения на детекцията

Предимства:

1. Ултразвуковата детекция е приложима за широк спектър от материали, включително метали, неметални и композитни материали;

2. Може да проникне през повечето материали;

3. Е много чувствителна към промени на интерфейса;

4. Няма шкодливо влияние върху човешкото тяло и околната среда.

Ограничения:

1. Изборът на вълновия формат е относително сложен;

2. Формата на пробата влияе върху резултата от детекцията;

3. Позицията и формата на дефекта имат определено влияние върху резултата от детекцията;

4. Материалът и размерът на зърнеността на пробата имат голямо влияние върху детекцията.

Проверка на качеството на сварката по време на процеса на зареждане на плочите

Наблюдение през стартирането и процеса на отстраняване на грешки на машината за зареждане на кристали, за да се откриват интуитивно аномалии в различните параметри и състояния на оборудването.

Височина и ъгъл на всмукващата глава;

Оксидация и температура на оловото;

Материал на филмовата рамка и чипов материал

Проверка на качеството на сварката по време на зареждане на чиповете

Наблюдение по време на стартирането и отстраняването на грешки на машината за зареждане на чипове може интуитивно да открива аномалии в различните параметри и състояния на оборудването

Височина и ъгъл на всмукващата глава;

Оксидация и температура на оловото;

Материал на филмовата рамка и чип

Празнини в процеса на сваряване на чиповете ще причинят недостатъчен отвод на топлина по време на използването на устройството, което влияе на неговия срок на служба и надеждност. Чрез ултразвукови методи на тестуване дефектите на сварката могат бързо и ефективно да бъдат идентифицирани.


Сварки с празнини	Изкривяване на кремичните кристали	Чипове от хляб	Трещини в кремниевите плочи