تصميم الدوائر المتكاملة، والمعروفة أيضًا باسم تصميم الدوائر المتكاملة، يتميز بدقة عالية في تقنية العمليات النانوية، وكلما زادت الدقة، أصبحت عملية الإنتاج أكثر تقدمًا. عند دمج المزيد من الشبكات الإلكترونية في المعالج، يمكن للشريحة أن تحقق وظائف أكثر، مما يقلل مباشرة من تكلفة إنتاج المعالج. لكن مع انخفاض عقد العمليات في الدوائر المتكاملة، تواجه قياس الأبعاد الحرجة تحديات هائلة. من المهم جدًا قياس وتحليل المعلومات الهندسية مثل فترة الهيكل النانوي، وعرض الخط، وارتفاع الخط، وزاوية الجدار الجانبي، والخشونة.
الحل:
من خلال استخدام قياس المصفوفة الإهليلجية لمولر، تم الحصول على 16 مجموعة من معلومات الاستقطاب، وتم الحصول على معاملات إهليلجية أكثر دقة (PSI: نسبة الأمplitdue، △: فرق الطور). تم استخدام مئات النماذج البصرية المضمنة للتناسب، ثم تم قياس وتحليل المعلومات الشكلية الهندسية مثل فترة الهيكل النانوي، عرض الخط، ارتفاع الخط، زاوية الجدار الجانبي، والخشونة.
إنشاء نموذج بصري
معلومات العنصر الاستقطابي
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
