처리 크기 |
12인치, 8인치, 6인치, 4인치 |
처리방법 |
절단/후면 절단 |
가공 재료 |
사파이어, Si, GaN 및 기타 연약 재료 |
웨이퍼 두께 |
100-1000um |
최대 처리 속도 |
1000/s |
위치 정확도 |
1um |
반복 위치 정확도 |
1um |
엣지 붕괴 |
< 5um |
무게 |
2800kg |
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