제품 소개
MDSM-VP-CG 시리즈 프로브 스테이션은 초고진공 및 고온/저온 환경에서 소자 및 재료 특성화를 위한 IV/CV 특성 측정, RF 측정, 광전자 측정, 전자기적 이동 특성 및 홀 효과 측정을 제공할 수 있습니다.
진공 챔버 및 방사선 차폐 스크린과 같은 구성 요소를 설치함으로써 통합된 고온, 저온, 진공 및 기타 테스트 조건을 구현하여 반도체 소자를 위한 안정적인 테스트 환경을 효과적으로 충족시키고 제공할 수 있습니다.
제품 특징
1. 4.2K-473K 온도 지원 가능
2. 시료의 온도 균일성과 정확도를 향상시키는 방사선 차폐 스크린 설계
3. 정확한 프로브 드롭(drop)을 보장하는 프로브 히트싱크 설계
4. 업그레이드 가능한 자석장 장착 기능
5. 유연하고 확장 가능한 테스트 응용 구성
6. 냉매 유량의 자동 제어, 자동 정밀 온도 제어
제품 매개변수
모델 |
MDSM-VP-CG-O-2 |
MDSM-VP-CG-O-4 |
MDSM-VP-CG-C-2 |
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차크 |
크기 |
2인치 |
4인치 |
2인치 |
시료 고정 방법 |
진공 열전도 그리스/스프링 프레스 |
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진공도 |
최대 진공 10^-10토르 |
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광학 특성 |
현미경 이동 거리 |
R 축 360 °+이동 축 100mm |
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이득 |
줌 비율: 7:1, 해상도 4 μm (배율 216X) 또는 금상현미경 (20X~1000X) |
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크기는 관찰창 |
2인치 |
4인치 |
2인치 |
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온도 제어 제품 사양 |
CCD 화소 |
50W (시뮬레이션)/200W(디지털)/500W(디지털) |
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냉각 방법 |
액체 질소/액체 헬륨 |
냉장 압축기 |
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제어 방법 |
개방 사이클 수동/자동 냉매 유량 제어 |
폐쇄 사이클 자동 제어 |
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범위 |
77K~473K/4.2K~473K |
7.3K~473K |
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해상도 |
0.001K |
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안정성 |
4.2K ±0.2K 77K±0.1K 373K±0.08K 473K±0.1K |
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센서 사양 |
프로브 번호 |
다양한 프로브의 수를 최대 6개까지 확장 가능 |
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프로브 조절 |
진공 벨로우즈 외부 조정, 수동 제어 |
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도트 정확도 |
2μm |
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누설 전류 |
1pA/V @25 ℃, 100fA/V @25℃ |
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커넥터 유형 |
트라이액셜/SMA/K/광섬유 인터페이스 |
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