Membuat mikroelektronik melibatkan banyak langkah yang harus dilakukan dengan hati-hati. Ikatan wafer adalah salah satu langkah kritis tersebut. Dalam praktiknya, ikatan wafer adalah proses menyatukan dua bahan tipis atau wafer, menurut istilah industri. Penting agar setiap titik di mana kedua permukaan bersentuhan memiliki sifat adhesi yang sangat kuat satu sama lain agar proses ini bekerja secara efektif. Inilah tempat aktivasi permukaan masuk berperan, membantu proses ikatan.
Aktivasi permukaan wafer adalah metode khusus yang diterapkan untuk membantu meningkatkan adhesi atau ketahanan pada wafer. Pengobatan plasma, pengobatan UV/ozon, atau fungsionalisasi kimia adalah beberapa pendekatan yang dapat digunakan untuk mengaktifkan permukaan. Teknik-teknik ini berbeda satu sama lain dan digunakan untuk membuat permukaan wafer sesuai untuk perekatan.
Ini juga berfungsi untuk meningkatkan kualitas perangkat mikroelektronik. Mereka membantu agar wafer benar-benar menyatu dengan baik sehingga mengurangi kemungkinan masalah seperti delaminasi. Dengan demikian, perangkat akan berperforma lebih baik dan bertahan lebih lama, yang menunjukkan peningkatan kekuatan pada gadget apapun yang menjadi tempatnya.
Selain memperkuat ikatan dan meningkatkan kualitas perangkat, aktivator permukaan juga membantu membersihkan wajah wafer. Dengan cara ini, ketika proses aktivasi dilakukan pada permukaan, kotoran atau kontaminan apa pun yang tidak diinginkan dapat dihilangkan. Hal ini seharusnya menghasilkan permukaan yang lebih baik dan lebih rata, dari mana mereka dapat mencetak mikroelektronik.
Akhirnya, aktivasi permukaan dapat membuat permukaan wafer menjadi halus. Jika kita menggunakan lem untuk menempelkan dua permukaan bersama-sama, maka jika permukaannya terlalu kasar atau bergelombang, akan sulit bagi mereka untuk menyatu dengan benar. Proses pengkilapan atau aktivasi dapat dilakukan untuk meminimalkan kekasaran pada permukaan wafer yang meningkatkan perekatan dan kekuatan koneksi.
Ada beberapa konsep yang perlu dipertimbangkan ketika membahas ilmu teknik aktivasi permukaan wafer. Salah satu konsep ini adalah Energi Permukaan. Sebagai referensi, Energi permukaan: jumlah energi yang digunakan untuk menghasilkan permukaan baru. Ketika dua permukaan bertemu, mereka berikatan sesuai dengan energi permukaan mereka.
Teknik aktivasi permukaan ini pada dasarnya memberikan energi kepada wafer, dengan meningkatkan energi permukaannya. Hal ini membuatnya lebih mudah bagi wafer untuk menempel pada permukaan lain secara kuat. Metode seperti pengobatan plasma, pengobatan UV/ozon, dan fungsionalisasi kimia semua menghasilkan situs aktif dalam tingkatan yang berbeda, meningkatkan energi permukaan wafer yang sangat penting untuk ikatan yang sukses.
Hak Cipta © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved