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Unité d'hôte plasma (60)
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Taille de l'équipement
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L 950×l 900×H 1650 mm
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poids
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350KG
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Alimentation électrique requise
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AC380V, 50/60Hz, 5 fils, 16A (type ouvert total au-dessus de C)
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Spécification du générateur plasma
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puissance
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radio Fréquence
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fréquence intermédiaire
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0~600W
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0-1000W
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fréquence d'alimentation
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13,56 MHz
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40 K Hz
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Système de vide
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pompe à vide
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Pompe rotative à deux étages (pompe à huile) : 40m3/h
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conduite sous vide
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Ligne entièrement en acier inoxydable, ainsi que des flexibles à vide de haute résistance
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qualité du matériau
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Alliage d'aluminium (cavité en acier inoxydable personnalisable)
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épaisseur
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25mm
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étanchéité
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Joint de soudage de qualité militaire
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Dimensions intérieures de la cavité
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375*375*430mm (largeur * hauteur * profondeur)
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Dimensions effectives de la plaque électrique
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247*281mm (largeur * profondeur)
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Espace disponible espacement
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22 mm
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Disposition électroplaque
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Mise en page horizontale, peut être extraction active
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plateaux
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Ensemble standard, matériau optionnel (aluminium, treillis en fil d'acier)
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espace de travail
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6 Couche
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gaz de processus
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Plage de débit
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0~300SCCM
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Circuit du gaz de procédé
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Standard avec deux voies, peut être personnalisé. Le pipeline du gaz de procédé est en ferrofllon
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navar
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SC
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PLC
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mode interactif
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écran tactile de 7 pouces
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