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Prober de plaquettes sous vide à haute et basse température

Introduction du produit

La station de mesure de la série MDSM-VP-CG peut effectuer des tests de caractéristiques IV/CV, des tests RF, des tests photoélectriques, des caractéristiques de transport électromagnétique et des tests d'effet Hall pour la caractérisation de dispositifs et de matériaux dans un environnement sous ultra-vide et à hautes et basses températures.

En intégrant des composants tels qu'une chambre à vide et un écran de protection contre les rayonnements, cette station combine des conditions de test haute température, basse température et vide, permettant ainsi de répondre efficacement aux besoins en offrant un environnement d'essai stable pour les dispositifs semiconducteurs.

Caractéristiques du produit

1. Peut supporter une plage de température de 4,2 K à 473 K

2. Conception d'un écran anti-rayonnement pour améliorer l'uniformité et la précision de la température de l'échantillon

3. Conception du dissipateur thermique de la pointe de mesure pour garantir une descente précise de la température de la pointe

4. Champ magnétique intégré évolutif

5. Configuration souple et extensible des applications de test

6. Contrôle automatique du débit du réfrigérant et régulation automatique précise de la température

Paramètres du produit

Modèle

MDSM-VP-CG-O-2

MDSM-VP-CG-O-4

MDSM-VP-CG-C-2

Mandrin

Taille

2pouce

4 pouces

2pouce

Méthode de fixation de l'échantillon

Graisse thermique sous vide/pression par ressort

Degré de vide

vide maximal 10^-10 torr

Optique

propriétés

Course du microscope

Axe R 360 ° + axe mobile 100 mm

Gain

Zoom : 7:1, résolution 4 μm (grossissement 216X) ou microscope métallographique (20X~1000X)

Dimensions de

fenêtre d'observation

2pouce

4 pouces

2pouce

Température

contrôle

cARACTÉRISTIQUES

Pixel CCD

50W (simulation)/200 W (numérique)/500 W (numérique)

Méthode de refroidissement

Azote liquide/hélium liquide

Compresseurs de réfrigération

Méthode de contrôle

Contrôle manuel/automatique du débit de réfrigérant en cycle ouvert

Contrôle automatique en boucle fermée

Autonomie

77 K~473 K/4,2 K~473 K

7,3 K~473 K

Résolution

0,001 K

Stabilité

4,2 K ±0,2 K à 77 K±0,1 K à 373 K±0,08 K à 473 K±0,1 K

Spécification de la sonde

Numéro de sonde

Le nombre de diverses sondes peut être étendu jusqu'à 6

Régulation de la sonde

Réglage externe du soufflet sous vide, commande manuelle

Précision des points

2μm

Fuite de courant

1pA/V @25 ℃,100fA/V @25℃

Type de connecteur

Interface triaxial/SMA/K/fibre optique

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