Gravure des matériaux Dépôt Réaction Machine de gravure ionique RIE , China Gravure des matériaux Dépôt Réaction Machine de gravure ionique RIE Manufacturers, Suppliers, Factory

Description du produit

Machine à gravure ionique réactive RIE

Les applications de recherche des machines de gravure ionique réactive RIE dans les domaines de la fabrication de semiconducteurs et de la micro-nanofabrication se manifestent principalement par l'usinage de structures nanométriques, la gravure de nouveaux matériaux, la fabrication de dispositifs complexes et les percées technologiques interdisciplinaires. Sa valeur essentielle réside dans la réalisation d'une suppression précise et hautement sélective des matériaux grâce à la maîtrise coordonnée du bombardement physique et des réactions chimiques. Elle soutient l'exploration des technologies de pointe en matière de semiconducteurs et l'innovation des dispositifs.

Caractéristiques de l'équipement :

1. Grande précision et anisotropie : permet d'usiner des motifs présentant des parois latérales abruptes et des dimensions précises.
2. Bonne uniformité et reproductibilité : adaptée à la production à grande échelle.
3. Large applicabilité des matériaux : En choisissant différentes combinaisons de gaz, divers matériaux (semi-conducteurs, diélectriques, métaux, etc.) peuvent être gravés.
4. Haut rapport de sélectivité : Il permet de graver précisément des matériaux spécifiques sans causer de dommages significatifs à d'autres matériaux.
5. Nettoyage : Procédé sec, évitant les problèmes liés au nettoyage et au traitement des déchets liquides causés par le gravure humide.

Spécification

Configuration du système :

Chauffage électrique	Chambre (Simple cavité)
Chauffage électrique		N/A
Type d'électrode inférieure	242mm
Plage de température du procédé	-20-100°C
Source plasma	600W-1000W
Taille du manomètre de processus	100mtorr
Système de vide	Unités de pompe moléculaire, systèmes de pompe sèche, chambre de processus
Nombre de chambres de gravure	Simple cavité
Serre-joints	Type	Size/mm	Matériau
Serre-joints		N/A	8、6、4、3、2
Détecteur de point final	Option
Plasma couplé inductivement	Option

Paramètre technique :

Matériau d'usinage	Si、Sio, Sin，Sau，Pt，Al
Vitesse de gravure	>20 nm/min (matériau Si02) Les vitesses varient selon les matériaux
Contrôle distribué	>85°
Méthode de chargement	Chargement ouvert
Tuyau de gaz contrôlé par MFC	Six réservoirs de gaz sont disponibles
Option de refroidissement arrière à l'hélium	Oui
Interface homme-machine	Commande tactile
Mode de fonctionnement	Mode entièrement automatique, mode non entièrement automatique
Sélection et configuration des appareils automatisés	Vous pouvez choisir entre des pièces importées ou domestiques

Cas de demande

Emballage et livraison

Profil de l'entreprise

Depuis 2014, Minder-Hightech est représentant commercial et de service dans l'industrie des équipements pour les produits semiconducteurs et électroniques. Nous nous engageons à fournir aux clients des solutions supérieures, fiables et clés en main pour les équipements machines. Aujourd'hui, les produits de notre marque se sont répandus dans les principaux pays industrialisés du monde entier, aidant les clients à améliorer leur productivité, réduire leurs coûts et accroître la qualité des produits.

FAQ

1. À propos du prix :
Tous nos prix sont compétitifs et négociables. Le prix varie en fonction de la configuration et de la complexité de personnalisation de votre appareil.

2. À propos des échantillons :
Nous pouvons vous fournir des services de production d'échantillons, mais des frais peuvent être requis.

3. À propos du paiement :
Une fois le plan confirmé, vous devez d'abord nous verser un acompte et l'usine commencera à préparer les marchandises. Une fois l'équipement prêt et après paiement du solde, nous l'expédierons.

4. À propos de la livraison :
Une fois la fabrication de l'équipement terminée, nous vous enverrons une vidéo de contrôle qualité et vous pourrez également venir sur place pour inspecter l'équipement.

5. Installation et mise au point :
Une fois que l'équipement est arrivé dans votre usine, nous pouvons envoyer des ingénieurs pour installer et mettre en service l'équipement. Nous vous fournirons un devis séparé pour ce coût de service.

6. À propos de la garantie :
Nos équipements bénéficient d'une période de garantie de 12 mois. Après la période de garantie, si des pièces sont endommagées et doivent être remplacées, nous ne facturerons que le prix des coûts.

7. Service après-vente :
Toutes les machines bénéficient d'une période de garantie supérieure à un an. Nos ingénieurs techniques sont toujours en ligne pour vous fournir des services d'installation, de mise au point et de maintenance du matériel. Nous pouvons fournir des services d'installation et de mise au point sur site pour les équipements spéciaux et les grands équipements.