


와퍼 크기 |
4”~ 8” 웨이퍼 |
웨이퍼 두께 |
100~750 마이크론 |
웨이퍼 유형 |
시, 시C, 가N 또는 다른 재료 |
필름 종류 |
블루 필름, UV 필름 너비: 230 ~ 300 mm 길이는 100m 두께: 0.05 ~ 0.2mm |
웨이퍼 운반 반지 |
6、8DISCO |
로딩 및 탈하드 방법 |
수동으로 웨이퍼/모지 반지 배치 및 제거 |
필름 위치 정확도 |
±0.5mm 6인치 및 8인치 웨이퍼용 표준 6인치 및 8인치 웨이퍼 플레이트 |
진공 펌프 |
Minder-Hightech |
항전기 제어 |
탈이온 팬 |
제어 장치 |
PLC 제어 기반, 10인치 터치 스크린 장착 |
안전 보호 |
광선 커튼 보호 및 응급 정지 버튼 구성 |
전원 공급 전압 |
단상 AC 220V, 16A |
압축 공기 |
0.45~0.6MPa, 유량 70L/min |
기계 케이스 |
화이트 플라스틱 도장 금속 케이스 |
볼륨 |
850mm (폭)*1750mm (깊이)*1970mm (높이) |
순중량 |
480kg |


저작권 © 광저우 민더 하이테크 코.,Ltd. 모든 권리 보유