타이코 웨이퍼 링 컷 머신 , China 타이코 웨이퍼 링 컷 머신 Manufacturers, Suppliers, Factory

제품 설명

완전 자동 타이코 웨이퍼 링 컷팅 기계

이 기기는 타이코 웨이퍼 링 컷팅 기계입니다.
이 모델은 웨이퍼 가공 전 과정(마운팅, 정렬, 절단, 세정, UV 테이프 해제, 링 제거)을 자동화하여 인건비를 크게 절감하고 생산 효율을 향상시킵니다.

작업 흐름

절단 섹션: 백그라인딩 공정 후 웨이퍼의 과도하게 두꺼운 외측 림을 제거합니다. 기존 DS9260 다이싱 소의 핵심 기능을 유지하면서, 추가로 링 절단 및 기계적 캘리브레이션 기능을 탑재하였습니다.
디본딩 섹션: 절단 및 세정이 완료된 웨이퍼를 UV 조사 유닛으로 이송합니다.
링 제거 섹션: UV 조사 후 링을 회수하여 지정된 링 보관 위치로 운반합니다.

장비 원리 — 링 제거

부품:
1. 링 절단 제품
2. 링 리프팅 휠
3. 링 제거 스테이션 세라믹 척
4. 링 제거 스테이션 외부 링 척
5. 중심 척
6. 진공 밀봉 링
7. 외부 링 진공 보조 장치

원칙:

제품은 링 제거 스테이션의 세라믹 척 상부에 위치한다. 제품이 중심 척과 동심을 이루도록 정위 및 정렬 메커니즘이 사용된다. 진공 흡착 후, 외부 링 척이 수직 방향으로 이동하여 제품과 UV 필름 사이에 분리 간극을 형성한다. 이 과정에서 관련 진공 부품을 통해 외부 링 진공이 지속적으로 유지된다. 그 다음, 링 리프팅 휠들이 하강하여 제품과 UV 필름 사이의 인터페이스에 외부에서 내부로 순차적으로 삽입된다. 이후 세 개의 링 리프팅 휠이 중심 축을 기준으로 120°~130°의 호를 그리며 동기화되어 회전함으로써 제품의 외부 링을 필름의 외주면에서 분리시킨다. 마지막으로 휠들이 상방으로 상승하여 링 제거 작업을 완료한다.

사양

환경	상수 온도 20–25°C; 습도 <60% (결로 없음)
전원 공급 장치	3상, 교류 220V/380V, 10 kW
압축 공기	압력: 0.5–0.6 MPa; 최대 소비량: 700 L/min
냉각용 물	압력: 0.2–0.3 MPa; 최대 소비량: 3.0 L/min
배기 공기량	8.0 m³/min (ANR)
크기 (가로 × 깊이 × 높이)	1600 mm × 2325 mm × 1800 mm
무게	3000 kg (변압기 제외)

구성 및 성능	가공 크기	φ300, Φ200
		제품 종류	1.2mm
		최대 가공물 두께	≤800μm
		작업대 평탄도	0.010mm/Φ310mm

X-축	효과적인 여행	310mm
X-축		해상도	0.001mm
θ축	회전 각도 범위	380°
θ축		회전 각도 해상도	0.0005°
Y-축	효과적인 여행	310mm
		단일 스텝 정위 정확도	≤0.002/5mm
		해상도	0.0001mm
Z-축	효과적인 여행	40 mm
		최대 블레이드 크기	φ58 mm
		운동 해상도	0.0001 mm
		반복성	0.001 mm

장비 정밀도 및 성능

작업 척의 평탄도	0.010 mm / Φ300 mm, 0.008 mm / □250 mm
XY축 수직도	0.006 mm / 300 mm
Y축 스텝 정확도	0.002 mm / 5 mm (단일 스텝)
스핀들 플랜지 대 X축 평행도	0.001 mm / 30 mm
Z축 반복성	0.001 mm / 50 사이클
절삭 척 대 하부 암 평행도	0.05 mm / 300 mm
프리어라인먼트 단계에서 절단 챙크까지의 X축 중심 편차	≤0.5 mm
로어 암 교정 블록과 절단 챙크 간 동심도	≤0.5 mm
링 픽업 챙크와 업퍼 암 간 평행도	≤0.05 mm
업퍼 암과 업퍼 암 교정 블록 간 동심도	≤0.1mm
UV 차단 표면과 업퍼 암 간 평행도	≤0.1mm
링 픽업 암과 워크 챙크 간 평행도	≤0.1mm
링 픽업 암과 워크 테이블 간 동심도	≤0.3 mm

포장 및 배송

회사 프로필

2014년 이래, 마인더하이테크(Minder-Hightech)는 반도체 및 전자 제품 산업 장비 분야의 판매 및 서비스 대리점입니다. 당사는 고객에게 우수하고 신뢰할 수 있으며 원스톱 방식의 기계 장비 솔루션을 제공하는 데 전념하고 있습니다. 현재까지 당사 브랜드 제품은 전 세계 주요 선진국으로 확산되어 고객의 생산성 향상, 비용 절감 및 제품 품질 개선을 지원하고 있습니다.

자주 묻는 질문

1. 가격에 대해:
우리의 모든 가격은 경쟁력 있고 협상 가능합니다. 장치의 구성과 맞춤화 복잡성에 따라 가격이 달라집니다.

2. 샘플에 대해:
우리는 당신을 위해 샘플 생산 서비스를 제공할 수 있지만, 일부 비용을 지불해야 할 수 있습니다.

3. 결제에 대해:
계획이 확정되면 먼저 우리에게 예금을 지불해야 하며, 공장에서 상품 준비를 시작합니다. 장비가 준비되고 잔액을 지불하면 출하합니다.

4. 배송에 대해:
장비 제조가 완료된 후, 우리는 당신에게 검수 영상을 보낼 것이며, 또한 현장에 와서 장비를 점검할 수도 있습니다.

5. 설치 및 디버깅:
장비가 귀하의 공장에 도착한 후, 우리는 엔지니어를 파견하여 장비를 설치하고 디버깅할 수 있습니다. 이 서비스 비용에 대해 별도의 견적을 제공해 드립니다.

6. 보증에 대해:
우리 장비는 12개월의 보증 기간이 있습니다. 보증 기간 이후에 부품이 손상되어 교체가 필요할 경우, 우리는 원가만 청구합니다.

7. 애프터세일즈 서비스:
모든 기계에는 1년 이상의 보증기간이 있습니다. 당사의 기술 엔지니어는 항상 온라인 상태에서 장비 설치, 디버깅 및 유지보수 서비스를 제공해 드립니다. 특수하고 대형 장비에 대해서는 현장 설치 및 디버깅 서비스를 제공할 수 있습니다.

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