장점:
- 고정밀 정렬: 고정 위치 빔 스플리터 프리즘 정렬 시스템, 고해상도 광학 시스템 및 서브마이크론 수준의 작업대를 통해 ±0.5μm의 정렬 정확도를 달성하여 공정 세부 사항에 대한 정밀한 제어를 보장합니다.
- 자동화 운영 소프트웨어: 자체 개발 소프트웨어는 전체 공정 운영을 통합하여 다이 분리 및 본딩의 자동화를 실현하며, 공정 곡선의 실시간 확인 및 저장을 지원하여 생산 공정의 효율적인 관리 및 제어를 가능하게 합니다.
- 모듈식 디자인 모듈식 아키텍처를 채택하여 사용자는 초음파 용접 모듈, 포름산 모듈 등과 같은 구성 요소를 필요에 따라 유연하게 선택하고 구성할 수 있어 다양한 생산 시나리오에 대응하며 장비의 적용성을 향상시킵니다.
- 힘과 온도의 정밀 제어: 소프트웨어에는 내장형 공정 레시피 관리 인터페이스가 있으며, 알고리즘을 통해 압력 및 온도에 대한 실시간 폐루프 조절이 이루어져 공정 파라미터의 안정성을 보장하고 고품질 생산을 지원합니다.
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