이름 |
진공 플라즈마 클리너 |
모델 |
MD-10L-RF |
제어 시스템 |
PLC+ 터치 스크린 |
주파수 |
13.56MHz (13.56MHz) |
전압 |
AC 220V (±10V) 단상 |
전력 |
100-300 W (가변식 ) |
가스 흐름 제어 |
2-way 플로트 유량 제어 |
제어 방법 |
자동 및 수동 방식 |
내부 크기 (L*W*H) mm |
250×200×200 |
동체 재질 |
316 스테인레스강 / 알루미늄 합금 |
적재 사양 (L*W) mm |
175×185 (총 3개의 쟁반) |
장비 크기 (L*W*H) mm |
600×560×520 |
내부 용량 |
10리터 |
진공도 |
30- 100 파스칼 |
가스 선택 |
Ar 、N2 、O2 、공기 、H2+N2 (혼합 구성) |
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