

| 이름  | 진공 플라즈마 클리너  | 
| 모델  | MD-10L-RF  | 
| 제어 시스템    | PLC+ 터치 스크린  | 
| 주파수  | 13.56MHz (13.56MHz)  | 
| 전압  | AC 220V (±10V) 단상  | 
| 전력  | 100-300 W (가변식 )  | 
| 가스 흐름 제어  | 2-way 플로트 유량 제어  | 
| 제어 방법  | 자동 및 수동 방식  | 
| 내부 크기 (L*W*H) mm  | 250×200×200 | 
| 동체 재질  | 316 스테인레스강 / 알루미늄 합금  | 
| 적재 사양 (L*W) mm  | 175×185 (총 3개의 쟁반)  | 
| 장비 크기 (L*W*H) mm  | 600×560×520 | 
| 내부 용량  | 10리터  | 
| 진공도  | 30- 100 파스칼  | 
| 가스 선택  | Ar 、N2 、O2 、공기 、H2+N2 (혼합 구성)  | 

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