모델 |
MD-FXY12 소형 이온 스퍼터 코터 |
진공 챔버 |
ф100mm*H130mm |
시편대 |
ф40mm(동시에 6개의 시료 셀) |
골드 스퍼터링 대상물 |
ф57mm |
진공 게이지 |
피라니 |
진공 펌프 |
회전 판 펌프: 2L / s |
진공 보호점 |
20Pa |
작동 가스 |
공기 또는 아르곤 마이크로 조절 가능 |
스퍼터링 전압 |
1.6KV |
순 중량 |
20kg+40kg |
준수 |
CE |
MD-FXY12 호스트 |
1 세트 |
기계 펌프 |
1 세트 |
펌프-라인 |
1 |
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