소개:
마그네트론 스퍼터링 코팅 장비는 당사에서 개발한 특수 실험실용 코팅 기기입니다. 본 장비는 DC 전원 공급장치 및 RF 전원 공급장치를 장착할 수 있으며, 출력 범위는 500W에서 1000W까지입니다. 기존의 플라즈마 스퍼터링에 비해 마그네트론 스퍼터링은 에너지 효율이 높고, 증착 속도가 빠르며, 증착률이 높고, 시료 온도 상승이 적은 장점을 갖습니다. 마그네트론 타겟에는 수냉식 중간층이 장착되어 있으며, 냉각수 냉각장치가 타겟 표면의 열을 효과적으로 제거하여 열 축적을 방지함으로써, 마그네트론 코팅이 장시간 안정적으로 작동할 수 있도록 합니다. 소형화된 설계를 통해 부피와 성능의 균형을 실현하였으며, 외관은 우아하고 기능은 종합적입니다. 전체 장비는 터치스크린으로 제어되며, 내장된 원버튼 코팅 프로그램을 통해 간편하게 조작할 수 있어, 실험실에서 박막 제조를 위한 이상적인 장비입니다.
응용 분야:
단층 또는 다층 강유전체 박막, 도전성 박막, 합금 박막, 반도체 박막, 세라믹 박막, 유전체 박막, 광학 박막 등을 제조하는 데 사용할 수 있습니다.