소개:
단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코팅 장치는 당사가 독자적으로 개발한 경제적인 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비입니다. 소형화된 설계를 통해 부피와 성능 간의 균형을 이룩하였으며, 외관이 우수하고 기능이 완전합니다. 본 장치 전체는 터치스크린으로 제어되며, 내장된 원버튼 코팅 프로그램을 통해 간편하고 쉬운 조작이 가능하여 얇은 필름을 실험실에서 제조하기에 이상적인 장비입니다. 단일 타겟은 강자성 타겟이며, 전원 공급 장치는 1500W DC 전원 공급 장치로 금속 박막 제조에 사용할 수 있습니다. 본 제품은 올인원 산업용 제어 컴퓨터를 선택적으로 장착하여 시스템을 제어할 수 있습니다. 컴퓨터 프로그램을 통해 진공 펌프 그룹 제어 및 스퍼터링 전원 공급 장치 제어 등 대부분의 기능을 구현할 수 있어 실험 효율을 한층 더 향상시킬 수 있습니다.
응용 분야:
단층 또는 다층 강유전체 박막, 도전성 박막, 합금 박막, 반도체 박막, 세라믹 박막, 유전체 박막, 광학 박막 등을 제조하는 데 사용할 수 있습니다.