|
연마 가능한 웨이퍼
|
크기
|
인치
|
4,5,6,8
|
|
연마 방식
|
-
|
수직 플러그 연마법
|
|
|
연마 휠 주축
|
유형
|
-
|
에어 베어링
|
|
수량
|
-
|
1
|
|
|
속도
|
rpm
|
0~5000
|
|
|
출력 전력
|
KW
|
5.5/7.5
|
|
|
Stroke
|
mm
|
150
|
|
|
이송 속도
|
um/s
|
0.01~100
|
|
|
급속 이동 속도
|
mm/min
|
300
|
|
|
해상도
|
um
|
0.1
|
|
|
작업물 축
|
유형
|
-
|
구형 베어링
|
|
수량
|
-
|
1
|
|
|
속도
|
rpm
|
0~300
|
|
|
전력
|
kW
|
0.75
|
|
|
흡盤 유형
|
-
|
미세 다공성 세라믹스
|
|
|
웨이퍼 흡착 방식
|
-
|
진공 흡착
|
|
|
웨이퍼 전송
|
-
|
매뉴얼
|
|
|
기타 기능
|
웨이퍼 센터 맞춤
|
-
|
-
|
|
웨이퍼 청소
|
-
|
-
|
|
|
흡착 컵 청소
|
-
|
-
|
|
|
연삭 휠
|
mm
|
φ200
|
|
|
온라인
측정 |
측정 범위
|
um
|
0~1800
|
|
해상도
|
um
|
0.1
|
|
|
반복 정확도
|
um
|
±0.5
|
|
|
기계화
정확도 |
웨이퍼 내 정확도 (TTV)
|
um
|
≤2
|
|
웨이퍼 간 정확도 (WTW)
|
um
|
±3
|
|
|
표면 거칠기 (Ry)
|
um
|
0.1(2000# 마감)
|
|
|
외관
|
외관 색상
|
um
|
오렌지 패턴
|
|
크기(가로×깊이×높이)
|
mm
|
690×1720×1780
|
|
|
무게
|
킬로그램
|
1400
|
|
연마 가능한 웨이퍼
|
크기
|
인치
|
6,8,12
|
|
연마 방식
|
-
|
수직 플러그 연마법
|
|
|
연마 휠 주축
|
유형
|
-
|
에어 베어링
|
|
수량
|
-
|
1
|
|
|
속도
|
rpm
|
0~5000
|
|
|
출력 전력
|
KW
|
5.5/7.5
|
|
|
Stroke
|
mm
|
150
|
|
|
이송 속도
|
um/s
|
0.01~100
|
|
|
급속 이동 속도
|
mm/min
|
300
|
|
|
해상도
|
um
|
0.1
|
|
|
작업물 축
|
유형
|
-
|
구형 베어링
|
|
수량
|
-
|
1
|
|
|
속도
|
rpm
|
0~300
|
|
|
흡盤 유형
|
-
|
미세 다공성 세라믹스
|
|
|
웨이퍼 흡착 방식
|
-
|
진공 흡착
|
|
|
웨이퍼 전송
|
-
|
매뉴얼
|
|
|
기타 기능
|
웨이퍼 센터 맞춤
|
-
|
-
|
|
웨이퍼 청소
|
-
|
-
|
|
|
흡착 컵 청소
|
-
|
-
|
|
|
연삭 휠
|
mm
|
φ300
|
|
|
온라인
측정 |
측정 범위
|
um
|
0~1800
|
|
해상도
|
um
|
0.1
|
|
|
반복 정확도
|
um
|
±0.5
|
|
|
기계화
정확도 |
웨이퍼 내 정확도 (TTV)
|
um
|
≤3
|
|
웨이퍼 간 정확도 (WTW)
|
um
|
±3
|
|
|
표면 거칠기 (Ry)
|
um
|
0.13(2000# 마감)
|
|
|
외관
|
외관 색상
|
um
|
오렌지 패턴
|
|
크기(가로×깊이×높이)
|
mm
|
790×2170×1830
|
|
|
무게
|
킬로그램
|
1800
|
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LT
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VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
