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행성식 단일 타겟 마그네트론 코팅 장비
소개: 본 장비는 데스크톱형 행성식 단일 타겟 마그네트론 코팅 장치입니다. 챔버의 하부는 스테인리스강 구조로 되어 있고, 상부는 고순도 석영으로 제작되었습니다. 진공 성능과 복잡한 샘플 스테이지 수용 기능을 모두 고려했습니다. 장비 외관은 데스크톱 규격으로 설계되어 설치 공간 요구 사양을 크게 줄였습니다. 본 장비는 DC 전원 공급 장치를 갖추고 있어 금속 및 기타 도전성 재료의 스퍼터링에 사용할 수 있습니다. 진공 시스템은 터보분자 펌프 그룹을 채택하여 펌핑 속도가 빠르고, 최종 진공도가 높으며, 우수한 진공 성능을 제공합니다. 본 장비는 컴팩트한 구조와 완전한 기능, 그리고 간편한 조작성을 갖추고 있어 다양한 코팅 시험에 매우 적합합니다.
