볼 헤드 제외: 진공과 회전을 통해 웨이퍼에서 위치가 비정상적인 볼을 제거합니다. 다양한 볼 직경의 유량계에 대한 아날로그 분석을 통해 유량계를 통한 볼의 흡입 상태를 감지합니다. 다양한 볼 직경의 흡입 상태에 적응하기 위해 다른 유량이 설정됩니다. 잔여 볼 청소 메커니즘: 브러시로 문질러 흡수된 볼을 수집하고 재활용합니다.
특징
1. 적용 가능한 웨이퍼: 12’’ 웨이퍼 & 8’’ 웨이퍼 2. 처리 시간 검사 시간: 0.55 [초/시야각] 수리 시간: 2.8 [초/볼] (플럭스 전송 포함) 3. 볼 크기 / 피치:Φ60/100(최소)~ Φ300 [㎛] 4. 장착 정확도: ±15 [㎛] 이내
포장 및 배송
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