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마스크 정렬기 리소그래피 기계

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제품 설명

마스크 정렬기 리소그래피 기계

마스크 정렬기도 마스크 정렬 노광 장비, 노광 시스템, 리소그래피 시스템 등으로 알려져 있으며, 칩을 제조하는 핵심 장비입니다. 이는 사진 인쇄 기술과 유사한 기술을 사용하여 마스크에 있는 미세한 패턴을 실리콘 웨이퍼로 빛 노출을 통해 인쇄합니다.
특징
——고 균일성 플라이아이 노출 헤드 / 공기 부유 수평 메커니즘 / 신뢰할 수 있는 진공 클램핑 노출.
——위 기능들은 고해상도와 높은 균일성을 보장합니다.
——마스크에 의해 정렬 방법이 안정적이고 기판 공급을 유지하며, 이는 중력의 일관성과 힘을 보장합니다.
——간격 없는 직선 가이드를 사용하여 고정밀도와 빠른 속도를 실현합니다.

고정밀도 정렬 시스템을 제작하기 위해서는 거의 완벽한 정밀 기계가 필요합니다. 정렬 시스템의 또 다른 기술적 문제는 정렬 현미경입니다. 현미경의 시야를 확대하기 위해 많은 고급 리소그래피 장비는 LED 조명을 사용합니다. 초점 기능이 있는 두 세트의 정렬 시스템이 있으며, 주로 현미경 본체에 대한 양눈 및 두 개의 시야로 구성됩니다. 한 쌍의 접안렌즈와 한 쌍의 물체렌즈(리소그래피 장치는 일반적으로 다양한 배율의 접안렌즈와 물체렌즈를 사용자에게 제공합니다). CCD 정렬 시스템의 역할은 마스크와 샘플의 정렬 표시자를 확대하고 모니터에 이미지를 표시하는 것입니다.
기계는 일반적으로 다양한 배율의 접안렌즈와 물체렌즈를 사용자에게 제공합니다). CCD 정렬 시스템의 역할은 마스크와 샘플의 정렬 표시자를 확대하고 모니터에 이미지를 표시하는 것입니다.
사양
제조업체
Minder-Hightech
Minder-Hightech
Minder-Hightech
Minder-Hightech
모델
MD-G25A
MD-G25D
MD-G31
MD-G33
노광 헤드 번호 아님
1 노광 헤드
1 노광 헤드
2 노광 헤드
2 노광 헤드
광원 유형
수은등 소스
자외선 광원
수은등 소스
자외선 광원
노광 영역
≤∅100mm
φ100mm
≤∅120mm
≥∅115mm
노출 모드
접촉 노출
마이크로 힘 평행 기술
마이크로 힘 평행 기술
마이크로 힘 평행 기술
노출 불균일성
∅100mm<±4%
≤±3%
∅100mm≤±6%
≤±3% 노출 강도 ≥20mw/cm2(365nm,
404nm,435nm 복합 자외선
기판 두께
1-5mm
≤5 mm
0.1-1mm
≤5 mm
노출 해상도
3μm
1 μm
5 μm
1 μm
조명 범위
∅115mm
∅120mm
∅120mm
∅130mm
카메라 시스템
양안 분리 시스템
이중 필드 CCD 시스템
이중 필드 CCD 시스템
이중 필드 CCD 시스템
현미경 시스템
50-375 연속 줌
91배 ~ 570배 연속 줌 (물경 1.6배 ~ 10배 연속 줌), 이중 물체 렌즈 거리의 조정 범위는
50mm ~ 120mm
0.7-4.5 연속 줌
60배, 120배 연속 줌
(물체 배율 2배, 4배 두 가지), 이중 물체 조절 가능한 거리 25mm-70mm
회사 소개
마인더하이테크는 반도체 및 전자 제품 산업 장비의 판매 및 서비스 대표입니다. 2014년 이후, 회사는 고객에게 우수하고 신뢰할 수 있으며 일괄적인 기계 장비 솔루션을 제공하기 위해 노력해 왔습니다.
자주 묻는 질문
1. 가격에 대해:
우리의 모든 가격은 경쟁력 있고 협상 가능합니다. 장치의 구성과 맞춤화 복잡성에 따라 가격이 달라집니다.

2. 샘플에 대해:
우리는 당신을 위해 샘플 생산 서비스를 제공할 수 있지만, 일부 비용을 지불해야 할 수 있습니다.

3. 결제에 대해：
계획이 확정되면 먼저 우리에게 예금을 지불해야 하며, 공장에서 상품 준비를 시작합니다. 장비가 준비되고 잔액을 지불하면 출하합니다.

4. 배송에 대해:
장비 제조가 완료된 후, 우리는 당신에게 검수 영상을 보낼 것이며, 또한 현장에 와서 장비를 점검할 수도 있습니다.

5. 설치 및 디버깅:
장비가 귀하의 공장에 도착한 후, 우리는 엔지니어를 파견하여 장비를 설치하고 디버깅할 수 있습니다. 이 서비스 비용에 대해 별도의 견적을 제공해 드립니다.

6. 보증에 대해:
우리 장비는 12개월의 보증 기간이 있습니다. 보증 기간 이후에 부품이 손상되어 교체가 필요할 경우, 우리는 원가만 청구합니다.

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