
| 연마 가능한 웨이퍼  | 크기  | 인치  |  4,5,6,8 | 
| 웨이퍼 카세트  | Number  |  - |  2 | 
| 연마 방식  |  - | 수직 플러그 연마법  | |
| 연마 휠 주축  | 유형  |  - | 에어 베어링  | 
| 수량  |  - |  2 | |
| 속도    | rpm    |  0~5000 | |
| 출력 전력  | KW    |  5.5/7.5 | |
| Stroke  | mm  |  150 | |
| 이송 속도    | um/s  |  0.01~100 | |
| 급속 이동 속도  | mm/min    |  300 | |
| 해상도    | um  |  0.1 | |
| 작업물 축  | 유형  |  - | 구형 베어링  | 
| 수량  |  - |  3 | |
| 흡盤 유형  |  - | 미세 다공성 세라믹스  | |
| 웨이퍼 흡착 방식  |  - | 진공 흡착  | |
| 속도    | rpm    |  0~300 | |
| 웨이퍼 전송  |  - | 로봇 팔  | |
|  - | 회전 디스크  | ||
| 기타 기능  | 웨이퍼 센터 맞춤  |  - | 이동 핀 정렬  | 
| 웨이퍼 청소  |  - | 물과 공기로 청소, 회전 건조  | |
| 흡착 컵 청소  |  - | 오일스톤 청소  | |
| 연삭 휠  | mm  | φ200    | |
| 온라인  측정 | 측정 범위  | um  |  0~1800 | 
| 해상도    | um  |  0.1 | |
| 반복 정확도    | um  |  ±0.5 | |
| 기계화  정확도 | 웨이퍼 내 정확도 (TTV)  | um  |  ≤2 | 
| 웨이퍼 간 정확도 (WTW)  | um  |  ±3 | |
| 표면 거칠기 (Ry)  | um  | 0.13(2000# 마감)  | |
| 외관    | 외관 색상  | um  | 오렌지 패턴  | 
| 크기(가로×깊이×높이)  | mm  |  1200×2750×1950 | |
| 무게  | 킬로그램  |  4200 | 










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