소개:
이 장비는 고진공 스테인리스강 캐비티를 그대로 유지하면서도 소형화되었으며, 다른 기구들을 간소화하여 외관을 데스크톱 수준으로 제한함으로써 설치 공간 요구 사항을 대폭 줄였습니다. 이 장비는 DC 전원 공급장치와 RF 전원 공급장치를 갖추고 있습니다. DC 타겟은 금속 및 기타 도전성 재료의 스퍼터링에 사용할 수 있으며, RF 전원 공급장치는 다양한 비금속 및 금속 산화물의 스퍼터링에 사용할 수 있습니다. 이 장비의 진공 시스템은 전량 수입된 진공 펌프를 사용하여 펌핑 속도가 빠르고, 최종 진공도가 높으며, 우수한 진공 성능을 제공합니다. 이 장비는 구조가 컴팩트하고 기능이 완비되어 있으며 조작이 간편하므로 다양한 코팅 시험에 매우 적합합니다.
응용 분야:
금속 박막, 전자 분야, 광학 분야, 특수 세라믹 등 제조에 활용할 수 있으며, 실험실용 SEM 시편 제작에도 사용할 수 있습니다.