소개:
이 장비는 이중 타겟 마그네트론 코팅 장치입니다. 이 구성 세트는 고진공 스테인리스강 챔버, 전면 개방형 설계, 그리고 실험 관찰 및 기록을 용이하게 하기 위해 도어에 석영 관측 창을 채택하였습니다. 동시에, 이 장비는 회전식 가열 샘플 스테이지를 갖추고 있어 박막의 균일성과 품질을 효과적으로 향상시킬 수 있습니다. 상부 커버에는 배플(baffle) 한 세트가 설치되어 있으며, 배플을 회전시켜 두 개의 타겟을 전환함으로써 다층 코팅을 실현할 수 있습니다. 이 장비는 고진공 분자 펌프 그룹과 함께 사용해야 합니다. 사용자는 설치 공간을 추가로 절약하기 위해 수입 브랜드 소형 분자 펌프를 선택할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 옵션으로 필름 두께 측정기 부품을 장착할 수 있으며, 이를 통해 박막 두께 데이터를 실시간으로 모니터링하고 실험 과정에 신뢰할 수 있는 파라미터를 제공합니다.
응용 분야:
금속 박막, 전자 분야, 광학 분야, 특수 세라믹 등 제조에 사용 가능하며, 실험실용 SEM 시편 제작에도 활용할 수 있습니다.