



장비의 차원 |
X: 1470mm, Y: 1470mm, Z: 1880mm |
배치 정확도 |
±5µm |
각도 정확도 |
±0.2° |
다이 본딩력 |
10–50g |
와퍼 크기 |
6인치 웨이퍼 확장 링(3개) |
쟁반 |
2인치 웨이퍼(6개) |
ダイ 사이즈 |
0.2–4mm |
단일 디스펜싱 시간 |
1.2초 |
단일 다이 본딩 시간 |
4초(공정 조건에 따라 다름) |
트레이 적재/적출 시간 |
10초 |
시간당 단위 수(UPH) |
약 500개(공정 조건에 따라 다름) |
다이 본딩 방식 |
접착제 딥핑을 통한 다이 본딩; 멀티칩 배치 |
기판 공급 방식 |
자동 매거진 적재; 듀얼 매거진 스테이션 |
다이 공급 방식 |
6인치 웨이퍼; 2인치 트레이 |
접착제 공급 |
접착제 트레이; 접착제 카트리지 |










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