제품 소개
MP-H 시리즈 프로브 스테이션은 R&D 연구소에 적합하며, 예산을 한 번만 투자할 수 있도록 해줍니다. 척 이동 기술을 통해 전체 웨이퍼의 효율적인 테스트 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다.
제품 특징
1. 정밀한 위치 설정과 프로브의 빠른 분리를 위한 3단계 리프트 가능 마이크로포지셔너 스테이지;
2. 표준 금상현미경, 1μm 이상의 패드 테스트 가능; μm;
3. FA 테스트/레이저 커팅을 위해 레이저 장착 가능;
4. 척을 빠르게 당겨내기 위한 공압 제어 척 이동 기술.
제품 사양
수동 프로버 모델 |
MP-M4/MP-M6/MP-M6mini |
MP-E4/MP-E6/MP-E8/MP-E12 |
MP-H6/MP-H8/MP-H12 |
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차크 |
척 재질 |
스테인리스 스틸/니켈 또는 금도금 구리 |
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척 리프트 |
해당 없음 |
빠른 상승 5mm, 미세 조정 6mm |
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빠르게 이동 |
해당 없음 |
해당 없음 |
√ |
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마이크로포지셔너 플랫폼 리프트 |
해당 없음 |
해당 없음 |
빠른 리프트 5mm, 미세 조정 40mm, 대략적 조정 300 μm |
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현미경 |
표준 본체 현미경(옵션 비디오 현미경 거울), 최대 100배까지 확대 가능 |
표준 PSM-1000 금상현미경 / 옵션(GX-6 금상, 실체, 비디오) 현미경, 최대 2000배까지 확대 가능 그리고 현미경은 공기 제어로 상하 조정이 가능함 |
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프로브 사양 |
누설 전류 |
동축 1pA/V @ 25 °C; 삼축 100fA/V @ 25 °C; 트라이액셜 10pA@3kV @25°C, 시험 조건: 접지 차폐를 위한 건조 환경(공기 이슬점 -40 이하 °c) |
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커넥터 유형 |
바나나 헤드/크로커다일 클립/동축/트라이액셜 인터페이스 |
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시험 응용 |
DC/(IV, CV) 테스트 저전류(100fA 이하) 테스트 1/f 노이즈 테스트 소자 특성화 테스트 WLR, 에이징 테스트 최대 110GHz 주파수의 RF 테스트 고출력/고전류/고전압 테스트 |
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고장 분석 테스트 |
고장 분석 테스트 |
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