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  • MD-0063 PLUS 소형 열전 냉각기 조립 기계
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MD-0063 PLUS 소형 열전 냉각기 조립 기계

모델: AX-0063 PLUS

이 기계는 반도체 열전 냉각기 전용으로 특별히 설계된 고정밀 조립 시스템이다.

MD-0063 PLUS 마이크로 열전 냉각기(TEC) 조립 장비

이 기계는 반도체 열전 냉각기 전용으로 특별히 설계된 고정밀 조립 시스템이다.

AX-0063 PLUS 고정밀 TEC 조립 장비는 여러 개의 통합 모듈로 구성된다.

1. 360° 회전 가능한 노즐을 갖춘 맞춤형 다이렉트드라이브 다이 본딩 헤드.

2. 리니어 모터와 고정밀 자기식 리니어 인코더로 제어되는 다이 픽업 스테이지.

3. 정밀 위치 결정을 위한 200만 화소 비전 시스템.

4. 리니어 모터와 고정밀 광학식 리니어 인코더가 장착된 조립 스테이지.

5. 캐리어 자동 로딩 및 언로딩 시스템.

6. 매거진 방식 피딩 메커니즘.

7. 노즐에 고정된 다이의 각도 보정을 위해 하향식 CCD 카메라.

장비 성능 특징:

1. 고속: 고객 공정 요구 사항에 특화된 업계 최고 수준의 속도 달성
2. 고정밀도: 고객 공정 요구 사항에 기반한 업계 최고 정확도(포토리소그래피 마스크 및 칩용)
3. 각도 정확도: ±0,2°
4. 배치 정확도: ±10µm
5. 조절 가능한 압력: 30g~200g
6. 선형 본딩 헤드(360° 회전 노즐 탑재)
7. 다용도 비전 기반 위치 결정(외곽선, 특징점, 에지 검출, 원 검출 지원)
8. CPK 품질 모니터링 및 추적
9. 인라인 구성: 소자 패키징을 위한 다중 유닛 직렬 처리 지원
10. 다이렉트 드라이브 플립앤픽 메커니즘

설비 구조:

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장비 치수:

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워크플로:

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3축 맞춤화 소개:

1. 이 3축 선형 본딩 헤드는 X, Y, Z 방향으로 동작 가능한 맞춤 설계 고속 장치입니다.
2. 본딩 노즐은 통합 각도 보정 및 압력 제어 기능을 갖추고 있습니다.
3. 각도 제어는 해상도 0.0025°의 다이렉트드라이브(DD) 모터로 관리됩니다.
4. XYZ축 반복 정밀도는 ±2 µm입니다.
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다이 본딩 렌즈 배럴을 검색합니다:

1. 200만 화소 CCD 위치 센서 및 PCB 기판을 장착함;
2. 고해상도 현미경과 고휘도 광원을 특징으로 함;
3. 영상 인식 정확도: ±2μm

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하향 시각 시스템:

1. 200만 화소 CCD를 사용하여 부품 하부를 위치 지정하며, 각도 정렬을 위해 회전 흡입 노즐을 사용함.
2. 고해상도 현미경과 고휘도 광원을 장착함.
3. 영상 인식 정확도: ±2μm
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적재 스테이션 및 캐리어:

1. X 및 Y 축은 선형 모터와 고정밀 자기 선형 인코더를 결합하여 제어함;
2. X 및 Y 축의 반복 위치 정확도는 ±2 µm이다.
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하역 스테이션 및 캐리어:

1. 작업대의 X축은 고정밀 자기 스케일과 결합된 직선 모터로 제어된다;
2. X축 반복 정확도: ±2 µm
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모니터링 CCD:

1. 실시간 결과 모니터링을 위해 4K 고해상도 CCD와 FA 렌즈를 사용한다;
2. 장비 설치 및 교정을 용이하게 한다.
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기술 사양:

UPH

≥ 800개(세라믹 부품 기준)

배치 정확도(X, Y축)

±10um (1.5~5mm )

배치 각도 정확도

±0.2° (1.5~5mm)

배치 힘 범위 및 정확도

30~200g ±10%

급이 방법

매거진/트레이

최대 카메라 정확도

1 µ m (통합 비전 정확도)

호환 가능한 다이/칩 크기

1.5mm~10mm

카메라 시야각(FOV)

2.1mm~14mm

노즐 수

1개

소프트 진동(소프트 터치) 유닛 수

1개

조립 대상 재료

세라믹 부품 및 기타 전자 재료

조립 단계 크기 범위

폭: 77밀리미터 ;길이: 70mm

작업대 높이

950mm±30mm

전원 공급 장치

AC 220v/50hz

전력 소비

900W

압축 공기

0.4~0.6Mpa

외부 치수(W × D × H)(적재/하역 유닛 제외)

1150×1240×1950mm

순중량

1100 kg

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