절단 인고의 최대 직경 |
￠153mm |
블레이드 표준 |
￠690mm×￠241mm×0.15mm 또는 ￠690mm×￠235mm×0.15mm |
절단 인고의 최대 길이 |
350mm |
웨이퍼 두께 범위 |
0.2〜～99mm/분 |
절단 속도 |
0.001〜～68.00mm |
결정 방향만 조정 |
0.001mm |
결정 방향 조정 |
수평 범위（x）±7°（해상도：2＇） 수직 범위（Y）±7º（해상도：2＇） |
전력 |
3.5kw,〜380v±38v, 50HZ±1HZ |
공기 공급원 |
0.4〜0.5MPa, 250L/min(제동 시 순간 유량) |
냉각수 산성도 |
0.2〜～0.4mpa;5L/min |
터치 패널 |
7.7인치 |
치수 |
1610mm×1100mm×2070mm |
무게 |
2800kg |
영어 인터페이스 |
|
피딩 스텝핑 편차 |
±0.005mm(1mm 피딩 스텝 테스트 시) |
리턴 속도: |
1〜～1000mm/분 |
주축의 속도: |
1420r/분 |
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