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고온 및 저온 웨이퍼 프로버

제품 소개

HLTP-C 시리즈 프로버는 탁월한 기계 시스템과 안정적인 구조 성능을 갖추고 있으며, 직관적이고 조작이 간편하고, 다기능 업그레이드를 지원하며 다양한 종합 기능을 제공합니다. 본 제품은 주로 집적회로, LED, LCD, 태양전지, 반도체 산업의 제조 및 연구 분야에서 사용됩니다.

제품 특징

1. 혁신적인 공압식 척 이동 플랫폼;

2. 상하 이동 가능한 마이크로포지셔너 플랫폼;

3. 고급 3배 이미징 기술로 테스트 효율을 크게 향상시킴;

4. 차폐 캐비티 구조 설계.

제품 매개변수

모델

HLTP-C6

HLTP-C8

HLTP-C12

차크

크기

6인치

8인치

12인치

205*205mm

205*205mm

305*305mm

여행

210MM

210MM

290MM

최소 변위

1μm

EMI 차폐

다중 배율 광학 시스템

15:1 3단 줌 현미경, 동시에 3개의 파일을 표시할 수 있음

온도

제어

특성

범위

-60℃~300℃

해상도

0.01

최소 온도 제어 속도

±0.1°C/h

냉각 방법

액체 질소/공기

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