민더하이테크는 반도체 제조업체입니다. 반도체는 모바일 폰과 컴퓨터 등 현대 생활을 이루는 많은 것들의 핵심 구성 요소입니다. 반도체를 만드는 데 몇 가지 단계가 있지만, 첫 번째 단계는 웨이퍼라고 불리는 평평한 표면에 패턴을 만드는 것입니다.

이 패턴을 형성하기 위해 우리는 웨이퍼에 특수 물질을 씁니다. 이 물질은 포토레지스트라고 합니다. 포토레지스트를 도포한 후 이를 빛에 노출시킵니다. 빛 아래에서 포토레지스트의 일부 영역이 경화되어 강해집니다. 그림자 부분은 여전히 부드러워서 닦아낼 수 있습니다.

웨이퍼에 원하는 패턴을 얻은 후, 추가 처리를 수행할 영역에서는 포토레지스트를 제거해야 합니다. 바로 여기서 Plasma Cleaner 가 등장합니다, 실제로 말이죠.

플라즈마 기반 방법으로 포토레지스트를 제거합니다.

플라즈마는 높은 전기 충전으로 인해 에너지 수준이 매우 높은 기체 상태를 의미합니다. 그리고 이 활성화된 기체는 웨이퍼 표면의 포토레지스트를 제거하는 데 매우 유용합니다. 플라즈마를 통해 포토레지스트는Brittle(부서지기 쉬운) 상태가 되며, 이를 청소하기가 훨씬 더 쉬워집니다.

포토레지스트 제거를 위해 플라즈마를 사용하는 두 가지 다른 기술이 있습니다: 건식 식각(Dry Etching)과 애싱(Ashing)입니다.

건식 식각: 이 기술에서는 플라즈마가 포토레지스트와 직접 상호작용합니다. 플라즈마는 접촉 지점에서 포토레지스트와 반응하며, 이 반응은 포토레지스트를 분해하여 기체로 변환시킵니다. 이 기체 물질은 이후에 웨이퍼 표면에서 제거될 수 있으며, 이로 인해 우리가 요구하는 영역이 노출되어 진행을 위한 준비가 됩니다.

에싱 — 이것은 다른 방법으로, 이 방법에서는 포토레지스트를 위해 비반응성 플라즈마가 사용됩니다. 플라즈마는 포토레지스트를 매우 작은 조각들로 부수어 버립니다. 그런 후에 이러한 작은 조각들은 웨이퍼에서 씻겨질 수 있습니다. 이 접근 방식은 적합하며 불필요한 포토레지스트를 제거하면서 웨이퍼를 보호합니다.

반응성 플라즈마를 이용한 포토레지스트 제거

플라즈마 표면 처리 웨이퍼에서 가장 강력한 포토레지스트를 제거하는 데 도움을 주는 매우 강력한 도구입니다. 플라즈마 자체가 놀랍지만, 가장 좋은 점은 그것을 초선택적 에이전트로 만들 수 있다는 것입니다. 즉, 그것이 포토레지스트와만 특별히 반응하도록 조정될 수 있다는 것을 의미합니다. 아래의 다른 재료들과는 반응하지 않습니다.

예를 들어: 웨이퍼에 포토레지스트 아래에 금속이 배치된 패턴이 있는 경우, 포토레지스트만과 반응하는 플라즈마 유형을 사용할 수 있습니다. 따라서 우리는 아래의 금속을 손상시키지 않고 포토레지스트를 식각할 수 있습니다. 이제 이것은 프로세스 동안 웨이퍼의 모든 부분이 그 구조를 유지해야 하기 때문에 매우 중요합니다.

포토레지스트 제거를 위한 플라즈마 기술

Minder-Hightech은 웨이퍼에서 포토레지스트를 제거하기 위해 최신 플라즈마 기술을 사용합니다. 이는 우리가 무결한 고급 반도체를 제작할 수 있도록 합니다.

빠르고 필요에 맞게 조정 가능我们的 시스템은 귀하의 작업 흐름에 원활하게 통합될 수 있도록 설계되었습니다. 이는 우리가 짧은 시간 내에 포토레지스트를 제거할 수 있음을 의미합니다. 그리고 우리가 빠르기 때문에 고객의 전체 요구를 충족하고, 필요한 때에 우수한 제품을 제공할 수 있습니다.

하지만 우리의 플라즈마 시스템은 효율성뿐만 아니라 매우 정확합니다. 이 정밀도는 포토레지스트 자체만 제거할 수 있는 능력을 제공합니다. 우리의 기술은 웨이퍼의 다른 모든 부분이 프로세스로 인해 손상되지 않도록 하며, 우리는 이를 허용할 수 없습니다. 이 체계적인 방법은 우리가 생산하는 반도체의 품질에 있어 더욱 필수적입니다.

반도체에서 플라즈마 유도 포토레지스트 제거

따라서, 간단히 말하자면 플라즈마는 웨이퍼 표면에서 일부 포토레지스트를 매우 효과적으로 제거할 수 있게 해주는 초능력과도 같습니다. 민더하이테크에서는 최신 및 최고의 플라즈마 기술을 적용하여 완벽하게 결함이 없는 반도체를 생산합니다. 플라즈마 시스템에 있어서 우리의 솔루션은 속도와 정확성을 균형있게 조화시키면서도 매우 효율적으로 설계되었습니다. 이는 고객의 요구를 충족시키고 품질 있는 제품을 빠짐없이 제공할 수 있다는 것을 의미합니다. 이를 통해 우리는 반도체 공정을 개선하고 플라즈마 제거 기술을 사용해 모든 종류의 전자 기기에 신뢰할 수 있는 반도체를 만듭니다.